【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种含有硅通孔的压力传感器封装结构,其特征在于,包括硅底座和压力传感器芯片,在硅底座上设有通孔,其内填充有导电材料,形成导电柱;导电柱上表面制备导电微凸点;所述导电微凸点的外围有一圈气密性材料构成的键合金属环;所述压力传感器芯片倒装键合在所述硅底座上。
【技术特征摘要】
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