一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具制造技术

本发明专利技术公开了一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具，包括：一支撑板(11)；四个金属针状样品夹(12)；一辅助样品夹金属板(13)；二个辅助样品夹金属板固定螺丝(14)；四个金属针状样品夹固定螺丝(15)；以及四个金属针状样品夹圆弧形滑槽(16)。本发明专利技术提供的用于电子束蒸发的半导体外延片夹具，简单易行，对样品大小及形状没有限制、传热性能好、样品无遮挡。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子束蒸发
，尤其涉及一种通过特殊设计的弹性机构实现用于电子束蒸发的半导体外延片夹具。
技术介绍
电子束蒸发设备是最常用的半导体设备之一，尤其是在半导体器件工艺的电极制作工艺中更是应用广泛。电子束蒸发设备的样品夹具除了需要完成通常的样品夹持外，还需要具有衬底加热和无蒸发遮挡的功能。通常的电子束蒸发样品夹具结构采用较大的金属片将样品压在样品夹具的支撑板上，这样不可避免的引起蒸发时对样品的局部遮挡，造成样品的浪费，同时对于不规则形状的样品的夹持存在困难。
技术实现思路
(一 )要解决的技术问题为了克服上述缺点，本专利技术的目的在于提供一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具。( 二)技术方案为达到上述目的，本专利技术提供了一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具，包括一支撑板11 ;四个金属针状样品夹12 ;—辅助样品夹金属板13 ;二个辅助样品夹金属板固定螺丝14 ;四个金属针状样品夹固定螺丝15 ;以及四个金属针状样品夹圆弧形滑槽16。上述方案中，所述支撑板11采用铝合金材料，所述支撑板11为圆形，直径小于4英寸，厚度小于3mm。上述方案中，所述金属针状样品夹12采用细钨丝材料，所述四个金属针状样品夹12采用细钨丝材料直径小于1mm。上述方案中，所述辅助样品夹金属板13采用铝合金材料，所述辅助样品夹金属板13为矩形且具有陡直的直角边。上述方案中，所述辅助样品夹金属板固定螺丝14型号为M4的铜螺栓，所述金属针状样品夹固定螺丝15型号为M6的铜螺栓，所述四个金属针状样品夹圆弧形滑槽16以四个金属针状样品夹固定螺丝15的各自中心为圆心。(三)有益效果该夹具简单易行，所述支撑板11采用铝合金板材按图纸加工成直径4英寸圆盘和辅助样品夹板13，用螺钉将辅助样品夹板13固定在支撑板11中心位置，并将按尺寸加工的四个金属针状样品夹用螺钉固定在相应位置上，四个金属针状样品夹可在圆弧形滑槽16内滑动以固定不同大小的样片对样品大小及形状没有限制、传热性能好、样品无遮挡。特别适用于实验样品的夹持对科研工作具有较大的实用意义。附图说明为进一步说明本专利技术的内容及特点，以下结合幅图对本专利技术作一详细地描述，其中图I是本专利技术的一种示例性用于电子束蒸发的半导体外延片夹具的正面视图；图2是本专利技术的一种示例性用于电子束蒸发的半导体外延片夹具的背面视图；图3是电子束蒸发系统的4英寸标准卡盘；图4是本专利技术一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具与4英寸卡盘的装配，同时显示了一种带蒸发样品装配实施例。具体实施例方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本专利技术进一步详细说明。 本专利技术提供了一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具，包括一支撑板11 ;四个金属针状样品夹12 ;—辅助样品夹金属板13 ;二个辅助样品夹金属板固定螺丝14 ;四个金属针状样品夹固定螺丝15 ;以及四个金属针状样品夹圆弧形滑槽16。将辅助样品夹金属板13用M4的铜螺栓14固定在支撑板11中心位置用以阻挡半导体材料一边，将四个金属针状样品夹用M6的铜螺栓15固定在相应位置，样品夹可在圆弧形滑槽16内滑动，以夹紧不同大小的样片。其中，所述支撑板11采用铝合金材料，所述支撑板11为圆形，直径小于4英寸，厚度小于3mm。所述金属针状样品夹12采用细钨丝材料，所述四个金属针状样品夹12采用细钨丝材料直径小于1mm。所述辅助样品夹金属板13采用铝合金材料，所述辅助样品夹金属板13为矩形且具有陡直的直角边。所述辅助样品夹金属板固定螺丝14型号为M4的铜螺栓，所述金属针状样品夹固定螺丝15型号为M6的铜螺栓，所述四个金属针状样品夹圆弧形滑槽16以四个金属针状样品夹固定螺丝15的各自中心为圆心。图I显示了本专利技术的正面视图，图2显示了本专利技术的背面视图。图3是电子束蒸发系统的4英寸标准卡盘，图4为本专利技术的装配实施例。在示例情况下，采用大约直径4英寸、厚度3mm的不锈钢板作支撑板11，利用两个M4的螺栓14将辅助样品夹板13固定在支撑板11的中心。在支撑板上，以支撑板中心为圆心、半径约3英寸的圆上均匀排布四金属针状样品夹固定螺丝15，固定螺丝15与辅助样品夹板13具有相同的夹角。以四金属针状样品夹固定螺丝15各自中心为圆心制作四圆弧状金属针状样品夹滑槽16，通过在滑槽中移动可使金属针状样品夹夹持不同大小的样品。四个采用钨丝材料制成的金属针状样品夹12 一端固定在固定螺丝15上，另一端能够在圆弧状金属针状样品夹滑槽16中滑动。半导体样品通过金属针状样品夹的弹性固定在金属针状样品夹和辅助样品夹金属板之间。装好样品后本专利技术用于电子束蒸发的半导体外延片夹具如图4所示固定在电子束蒸发系统的4英寸标准卡盘上，然后装入电子束蒸发系统中。以上所述的具体实施例，对本专利技术的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本专利技术的具体实施例而已，并不用于限制本专利技术，凡在本专利技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具，其特征在于，包括：一支撑板(11)；四个金属针状样品夹(12)；一辅助样品夹金属板(13)；二个辅助样品夹金属板固定螺丝(14)；四个金属针状样品夹固定螺丝(15)；以及四个金属针状样品夹圆弧形滑槽(16)。

【技术特征摘要】
1.一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具，其特征在于，包括 一支撑板(11); 四个金属针状样品夹(12)； 一辅助样品夹金属板(13)； 二个辅助样品夹金属板固定螺丝(14)； 四个金属针状样品夹固定螺丝(15);以及 四个金属针状样品夹圆弧形滑槽(16)。2.根据权利要求I所述的用于电子束蒸发的半导体外延片夹具，其特征在于，所述支撑板(11)采用铝合金材料。3.根据权利要求2所述的用于电子束蒸发的半导体外延片夹具，其特征在于，所述支撑板(11)为圆形，直径小于4英寸，厚度小于3mm。4.根据权利要求I所述的用于电子束蒸发的半导体外延片夹具，其特征在于，所述金属针状样品夹(12)采用细钨丝材料。5.根据权利要求4所述的用于电子束蒸发的半导体外延片夹具，其特征在于，所述四个金属针...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁平，胡颖，刘俊岐，刘峰奇，王利军，张锦川，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：