本发明专利技术提供一种真空蒸镀装置，能够防止因该溶剂造成的基板的污染，以获得高品质的蒸镀膜。真空蒸镀装置是利用蒸发装置将有机液体材料去除有机溶剂后进行蒸发以作为蒸发材料，将该蒸发材料导至真空容器内的基板上进行蒸镀，其中，蒸发装置包括：蒸发容器，填充有机液体材料且形成有蒸发溶剂的排出口；蒸发用加热器，能够设定为仅有机溶剂蒸发而蒸镀材料不会蒸发的温度；蒸发室用真空泵，经由第2开闭阀而连接于排出口；以及流量调整阀，蒸发装置在将流量调整阀关闭，并且利用蒸发用加热器仅使蒸发容器内的有机溶剂蒸发后，将第2开闭阀打开以利用上述泵来抽吸蒸发容器内的蒸发溶剂，从而能够去除有机溶剂。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种真空蒸镀装置，该真空蒸镀装置例如用于使金属材料、有机材料等的蒸镀材料在负压下蒸镀于玻璃(glass)基板的表面。
技术介绍
例如，使用有机电致发光(Electroluminescence, EL)材料的平板显示器(paneldisplay)是通过使有机材料等的蒸镀材料蒸镀在玻璃基板等的被蒸镀构件上而形成。通常，在蒸发容器内对蒸镀材料进行加热以使其蒸发，将该蒸发后的蒸镀材料即蒸发材料导至真空容器内，并且放出至配置在该真空容器内的被蒸镀构件的表面，以进行蒸镀。作为此种蒸镀方法(合成树脂覆膜的形成方法)，提出有下述方法在设为真空 (负压)的处理室内，利用加热器对填充在蒸发用管(蒸发容器)内的原料单体(monomer)(蒸镀材料)进行加热以使其蒸发，并使该蒸发的蒸镀材料于配置在处理室内的上部的基板上聚合(参照专利文献I)。现有技术文献专利文献专利文献I :日本专利特开昭61-78463号公报但是，在上述专利文献I所公开的蒸镀方法以及该方法中所用的装置中，填充在蒸发用管内的材料全部朝向基板，因此，如果该材料是使蒸镀材料溶解在溶剂中而成的材料，则该溶剂蒸发而成的蒸发溶剂会到达基板或基板附近的处理室内壁面而对他们造成污染。而且，在上述装置中，在处理室内的基板与蒸发用管之间虽设有闸板(shutter)，但上述蒸发溶剂的一部分会绕过该闸板，因此无法确实地防止上述污染。由于此种污染的原因，存在形成于基板上的蒸镀膜的品质下降的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供一种真空蒸镀装置，通过从使蒸镀材料溶解在溶剂中而成的液体材料中确实地去除溶剂以进行蒸镀，从而能够防止因该溶剂造成的基板的污染，以获得闻品质的蒸锻月旲。为了解决上述问题，本专利技术的技术方案I的真空蒸镀装置，使将蒸镀材料溶解在溶剂中而成的液体材料通过蒸发装置去除该溶剂后使其蒸发以作为蒸发材料，将该蒸发材料导至被保持在真空容器内的基板上以进行蒸镀，其中，上述蒸发装置包括蒸发容器，填充上述液体材料，并且形成有排出口，该排出口将由该液体材料的溶剂蒸发而成的蒸发溶剂予以排出；蒸发用加热器，对填充在该蒸发容器内的液体材料进行加热以使其蒸发；开闭阀，设在上述排出口 ；真空泵，经由该开闭阀而连接于上述排出口 ；以及流量调整阀，能够对从上述蒸发容器导向上述真空容器的蒸发材料的流量进行调整，上述蒸发用加热器能够设定为至少两阶段的加热温度，上述两阶段的加热温度包括仅使上述溶剂蒸发且不会使上述蒸镀材料蒸发的第一温度与该使蒸镀材料蒸发的第二温度，上述蒸发装置在将上述流量调整阀关闭，并且利用上述蒸发用加热器对填充在上述蒸发容器中的液体材料进行加热而使该液体材料达到上述第一温度后，将上述开闭阀打开并利用上述真空泵来抽吸该蒸发容器内的蒸发溶剂，从而能够从该液体材料去除溶剂。而且，本专利技术的技术方案2的真空蒸镀装置是根据技术方案I所述的真空蒸镀装置，其中，蒸发装置的个数为多个，且上述真空蒸镀装置包括分支形状的导管，连接上述各蒸发装置与真空容器，以将该各蒸发装置的蒸发材料导向真空容器内。进而，本专利技术的技术方案3的真空蒸镀装置是根据技术方案I或技术方案2所述的真空蒸镀装置，其中，蒸发装置包括传感器，对蒸发容器内的真空度进行计测。 (专利技术的效果)根据上述真空蒸镀装置，通过利用真空泵来抽吸蒸发容器内的蒸发溶剂，从而从液体材料中去除溶剂，因此能够防止因蒸发溶剂造成的基板或真空容器内的污染，以获得高品质的蒸镀膜。而且，通过流量调整阀，能够在维持真空容器的真空度的状态下使蒸发容器恢复大气压以再次填充蒸镀材料，因此能够提高蒸镀的作业效率。附图说明 图I是本专利技术的实例I的真空蒸镀装置的整体剖视图。图2是本专利技术的实例2的真空蒸镀装置的整体剖视图。[符号的说明]I、101:真空蒸镀装置2、2A、2B :蒸发装置3、103:导管4 :真空容器5 :加载互锁室11:第I开闭阀12:第2开闭阀13 :材料供给管14 :抽吸管15 :蒸发室用真空泵16:流量调整阀17 :传感器18 :蒸发用加热器20 :蒸发容器21:注入口22:排出口28 :第I防附着用加热器29:第2防附着用加热器38 :导管用加热器41 :保持件42:连通口43:导入口45 :蒸镀室用真空泵52:基板更换口55 :加载互锁用真空泵56 闸阀 K、K':基板L :有机液体材料具体实施例方式[实例I]以下，根据附图来说明本专利技术的实例I的真空蒸镀装置。如图I所示，该真空蒸镀装置I包括蒸发装置2，使将蒸镀材料溶解在有机溶剂(作为溶剂的一例)中而成的有机液体材料(作为液体材料的一例)L蒸发；导管3，对蒸发的蒸镀材料即蒸发材料进行引导；真空容器4，将由该导管3引导的蒸发材料导至配置在内部的基板K，以使其在规定的真空度(负压)下进行蒸镀；以及加载互锁室(Load-Iockchamber) 5,用于在维持该真空容器4内的真空度的状态下更换上述基板K。另外,准确地讲，上述蒸发材料是指从有机液体材料L中去除有机溶剂以作为蒸镀材料，并使该蒸镀材料蒸发而成者。此处，上述真空容器4包括保持件41，设在上壁部的内侧且保持基板K ;连通口 42，形成于侧壁部且连通于加载互锁室5 ；以及导入口 43，形成于下壁部且从上述导管3导入蒸发材料。而且，在上述真空容器4上，连接着能够使内部达到规定的真空度(I. OX IO-4[Pa]左右的负压)的蒸镀室用真空泵45。上述蒸发装置2具有填充有机液体材料L的蒸发容器20，该蒸发容器20的上端形成开口，以将所填充的该有机液体材料L的蒸镀材料蒸发而成的蒸发材料导至上述导管3。在上述蒸发容器20的侧壁部，形成有注入口 21，用于将有机液体材料L供给并填充至该蒸发容器20内；以及排出口 22，将由所填充的有机液体材料L的有机溶剂蒸发而成的蒸发溶剂从该蒸发容器20内予以排出。而且，上述蒸发装置2包括流量调整阀16，设在上述蒸发容器20的开口与导管3之间，且能够对从该蒸发容器20导向导管3的蒸发材料的流量进行调整；蒸发用加热器(作为蒸发用加温器)18，对填充在上述蒸发容器20内的有机液体材料L进行加热以使其蒸发；第I开闭阀11，从上述蒸发容器20的外侧设于注入口 21，对有机液体材料L的填充量进行调整，并且防止蒸发材料从该注入口 21流出；材料供给管13，经由该第I开闭阀11而连接于上述注入口 21 ;第2开闭阀(作为开闭阀的一例)12，从上述蒸发容器20的外侧设于排出口 22，防止蒸发材料从该排出口 22流出；抽吸管14，经由该第2开闭阀12而连接于上述排出口 22 ;蒸发室用真空泵(作为真空泵的一例)15，连接于该抽吸管14且能够抽吸蒸发容器20内的蒸发溶剂；以及传感器17，配置用以计测上述蒸发容器20内的真空度。此处，上述流量调整阀16能够控制开度来调整上述蒸发材料的流量，以达到期望的蒸镀率(rate)，并且，当然能够设为开度为0%的“闭”的状态以及开度为100%的“开”的状态。而且，上述蒸发用加热器18设在上述蒸发容器20的外周侧，能够设定为至少两阶段的加热温度，所述两阶段的加热温度为仅使有机液体材料L中的有机溶剂蒸发且不会使蒸镀材料蒸发的温度(第一温度)与使蒸镀材料蒸发的温度(第二温度)。进而，上述第I开闭阀11通过“本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种真空蒸镀装置，使将蒸镀材料溶解在溶剂中而成的液体材料通过蒸发装置去除所述溶剂后使其蒸发以作为蒸发材料，将所述蒸发材料导至被保持在真空容器内的基板上以进行蒸镀，所述真空蒸镀装置的特征在于，所述蒸发装置包括：蒸发容器，填充所述液体材料，并且形成有排出口，所述排出口将由所述液体材料的溶剂蒸发而成的蒸发溶剂予以排出；蒸发用加热器，对填充在所述蒸发容器内的所述液体材料进行加热以使其蒸发；开闭阀，设在所述排出口；真空泵，经由所述开闭阀而连接于所述排出口；以及流量调整阀，能够对从所述蒸发容器导向所述真空容器的所述蒸发材料的流量进行调整，所述蒸发用加热器能够设定为至少两阶段的加热温度，所述两阶段的加热温度包括仅使所述溶剂蒸发且不会使所述蒸镀材料蒸发的第一温度以及使所述蒸镀材料蒸发的第二温度，所述蒸发装置在将所述流量调整阀关闭，并且利用所述蒸发用加热器对填充在所述蒸发容器中的所述液体材料进行加热而使所述液体材料达到所述第一温度后，将所述开闭阀打开并利用所述真空泵来抽吸所述蒸发容器内的所述蒸发溶剂，从而能够从所述液体材料去除溶剂。
【技术特征摘要】
2011.04.15 JP 2011-0905431.一种真空蒸镀装置，使将蒸镀材料溶解在溶剂中而成的液体材料通过蒸发装置去除所述溶剂后使其蒸发以作为蒸发材料，将所述蒸发材料导至被保持在真空容器内的基板上以进行蒸镀，所述真空蒸镀装置的特征在于， 所述蒸发装置包括蒸发容器，填充所述液体材料，并且形成有排出口，所述排出口将由所述液体材料的溶剂蒸发而成的蒸发溶剂予以排出；蒸发用加热器，对填充在所述蒸发容器内的所述液体材料进行加热以使其蒸发；开闭阀，设在所述排出口 ；真空泵，经由所述开闭阀而连接于所述排出口 ；以及流量调整阀，能够对从所述蒸发容器导向所述真空容器的所述蒸发材料的流量进行调整， 所述蒸发用加热器能够设定为至少两阶段的...
【专利技术属性】
技术研发人员：野田武史，
申请(专利权)人：日立造船株式会社，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。