装载锁止室、衬底处理系统和通风方法技术方案

本发明专利技术提供了用于衬底处理系统的锁止室，其至少包括适合于提供锁止室的内部部分与大气压或超压的流体连通的第一管道。此外，锁止室至少包括用于控制室的内部部分与大气压或超压的流体连通的流率的第一控制阀，其中，控制阀适合于连续地控制流率。此外，提供了相应方法、计算机程序和适合于执行方法的计算机可读介质。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】装载锁止室、衬底处理系统和通风方法
本专利技术的实施例涉及锁止室、衬底处理系统和用于通风方法，具体地，涉及锁止室。具体地，实施例涉及卸载锁止室和用于对卸载锁止室通风的方法。具体地，本专利技术的实施例涉及纳米制造技术解决方案，其关于用在薄膜和涂层沉积中的设备、工艺和材料，其代表性示例包括(但不局限于)以下示例：半导体和电介质材料和器件、基于硅的晶片、平板显示装置(诸如TFT)、掩模和滤光片、电致变色涂层、能量转换和存储(诸如光伏电池、燃料电池和电池)、固态发光(诸如LED和OLED)、磁性和光学存储、微机电系统(MEMS)和纳米机电系统(NEMS)、微光学和光电装置、建筑和汽车玻璃、用于金属和聚合物箔及封装的金属化系统，以及微米和纳米成形。
技术介绍
例如在真空涂布车间中在5×10-4hPa(百帕)到3×10-2hPa范围内的压力下的高真空条件下对玻璃面板进行涂布。为了增加车间生产率并且避免对于每个衬底都需要对整个装置(特别是高真空部分)抽真空，将装载和卸载锁止部用于衬底。为了改善材料流动速率并且增加现代直线涂布车间的生产率，正在使用独立的装载和卸载室。简单的所谓的3室涂布单元包括：装载锁止部，其中衬底被从大气压抽到例如在p＝1×10-3hPa到p＝5×10-2hPa之间的足够的过渡压力；顺序真空涂布部分(处理室)；以及卸载锁止部，其中借助于通风，该衬底再次被调整到大气压水平。装载锁止室的任务是尽可能快地抽真空到对于处理范围足够并充分低的过渡压力。卸载锁止室的任务是尽可能快地通风到大气压。之后，在衬底被从卸载锁止室卸载之后，卸载锁止室被再一次抽真空。直线涂布单元的生产率和并发经济性利用的因素是所谓的循环，即，工作台时间(stationtime)，即，在下一批衬底被引入单元之前每批衬底必须使用的时间或者在连续工作情况下每批衬底的平均处理时间。为了实现例如45秒的循环时间，锁止室必须能够状态良好地将衬底在t≤45秒内从给定大气压点A带至在(高)真空范围内的给定点B，并且反之亦然。为了这个目的，系统必须将衬底分别传输进出锁止室，对锁止室分别进行抽真空和通风，并且分别打开和最终关闭全部的适用阀门。这意味着在这种情况下，抽真空和通风可用的时间必须总是小于循环时间(例如，20秒或45秒)，因为全部的其他任务(见上文)必须在该循环时间内完成。根据泵送时间、与容积V和泵送速度S的比率呈正比的已知关系，很显然有减小泵送时间以及因此减小循环时间的两种可能性：减小锁止室的容积；或者增加耦合到锁止室的泵送能力。现代锁止室因此包括小的容积，从而导致泵送时间的减小，其他方面相同。然而，特别在容积减小的室中，快速通风导致锁止部内的压力差增加，这可能导致衬底的未对准、损坏或者甚至毁坏。为了防止衬底受到损坏，所谓的“通风淋浴头”被用来向室中散布气流并且产生均匀的气流。此外，可以将喷头或通风淋浴头定位为它们的出口朝向室壁或室内的其他设备，从而防止朝向衬底的直接气流。也知道顺序地打开更多的喷头由此以阶梯的方式增加流率。这有时被称作“软通风”。同样，专利技术人之一已经提出了将衬底定位在朝向彼此相反的两个气流之间。然而，所提出的解决办法仍然太慢，或者要被涂布的衬底的损坏率仍然太高。
技术实现思路
考虑到以上内容，根据本文描述的方面，提供了一种用于衬底处理系统的锁止室，其至少包括适合于提供锁止室的内部部分与大气压或超压的流体连通的第一管道。此外，锁止室至少包括用于控制室的内部部分与大气压或超压的流体连通的流率的第一控制阀，其中，控制阀适合于连续地控制流率。根据另一个方面，衬底处理系统具有如本文描述的至少一个锁止室和用于涂布衬底的室。根据另一个方面，提供了用于对装载锁止室进行通风的方法。该方法包括提供用于对锁止室进行通风的流率分布；以及控制第一控制阀，第一控制阀适合于根据用于对锁止室进行通风的流率分布来连续地控制流率。根据另一个方面，提供了一种计算机程序，其包括适合于在程序在计算机上运行时执行如本文描述的方法的全部步骤的计算机程序代码方法。根据另一个方面，提供了存储如本文描述的计算机程序的计算机可读介质。根据另一个方面，提供了一种计算机可读介质，其包括表示如何对锁止室进行通风的介质数据和信息。介质包括：用于提供用于对锁止室进行通风的流率分布的方法；以及用于控制第一控制阀的方法，第一控制阀适合于根据用于对锁止室进行通风的流率分布来连续地控制流率。根据一个方面，如本文描述的锁止室是卸载锁止室。实施例也涉及用于制造和操作锁止室或衬底处理系统的方法。这些方法步骤可以被手动地或例如由适当软件进行编程的计算机控制来自动地执行，由这二者的组合来执行或者以任何其他方式来执行。通过从属权利要求、说明书和附图，能够与本文描述的实施例结合的其他优点、特征、方面和细节将会变得清楚。附图说明可以参照本专利技术的实施例获得上文中概述的本专利技术的更加具体的描述，使得可以更加详细地理解本专利技术的上述特征。附图涉及本专利技术的实施例并且在下文中描述：图1到图8示出了根据本文描述的实施例的锁止室；图9示出了根据本文描述的实施例的衬底处理系统；图10示出了根据本文描述的实施例的众多锁止室；图11示出了根据本文描述的实施例的衬底处理系统；图12示出了用于控制根据本文描述的实施例的控制阀的示例性压力-时间图；图13示出了根据本文描述的实施例的锁止室；以及图14示出了示例性流率-时间图，其示出了根据本文描述的实施例的多个阀的使用。具体实施方式现在将会具体参照本专利技术的各种实施例，其中的一个或多个示例在附图中示出。每个示例由解释本专利技术的方式提供并且不表示对于本专利技术的限制。例如，作为一个实施例的一部分图示和描述的特征可以被用在其它实施例中或结合其他实施例使用，以产生另外的实施例。本专利技术意图包括这种修改和变化。在附图的描述中，相同的附图标记表示相同的组件。一般来说，仅描述关于各个实施例的区别。附图不一定按照真实比例并且特征可以为了图示的目的而被夸大。图1示出了根据实施例的锁止室。锁止室10包括内部部分12，在内部部分12中，为了示意性目的示出衬底11。通常，衬底12被定位在支撑架13上(为了示意性目的在以下的附图中省略支撑架13)。锁止室10还包括向锁止室10的内部部分12提供与大气压(例如环境空气)的流体连通的第一管道18。通常并且不局限于该实施例，可以提供超压(overpressure)来代替大气压。术语“超压”应当指的是大于大气压的压力。可以通过例如填充有经调节的干燥空气(“CDA”)、氮气(N2)等的罐来提供超压。大气压和超压在下文中都被称作为“外部压力”。图1还示出了用于控制锁止室10的内部部分12与外部压力的流体连通的流率的第一控制阀15。第一控制阀15适合于连续控制流率。如这里所使用的，术语“锁止室”应当指的是用在真空应用中的、适合于封闭至少一个衬底并且改变室内的压力的室。术语“装载锁止室”应当指的是被构造为将衬底从更高压力带至更低压力的锁止室。压力通常被改变到在1×10-3hPa到5×10-2hPa之间的压力。术语“卸载锁止室”应当指的是被构造为对衬底进行通风的锁止室，即，将衬底从更低压力带至更高压力。典型的锁止室具有入口密封部和出口密封部，通过入口密封部接收衬底并且通过出口密封部卸载衬底。例如，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.10.21 EP 10188415.31.一种用于衬底处理系统(100)的锁止室(10)，其包括：第一管道(18)，其适合于提供所述锁止室的内部部分(12)与大气压或超压的流体连通，其中所述第一管道设置在所述锁止室的顶部侧；第二管道(28)，其适合于提供所述锁止室的内部部分(12)与大气压或超压的流体连通，其中所述第二管道设置在所述锁止室的顶部侧；至少第一控制阀(15、16、55)，其用于对所述锁止室(10)进行通风并且控制所述室的内部部分与大气压或超压的流体连通的流率，所述控制阀适合于连续地控制流率；和控制器，其被连接到所述第一控制阀，其中所述控制器经编程以在对所述锁止室进行通风的过程中连续地调整所述控制阀，其中进入所述锁止室的所述内部部分的第一入口(19)连接到位于所述锁止室的顶部侧的所述第一管道(18)，其中进入所述锁止室的所述内部部分的第二入口(29)连接到位于所述锁止室的顶部侧的所述第二管道(28)，其中所述第一入口(19)经定位和定向，以使得在对所述锁止室进行通风的过程中离开所述第一入口(19)的流动被导向被竖直地定向在所述锁止室中的衬底的正面侧，并且其中所述第二入口(29)经定位和定向，以使得在对所述锁止室进行通风的过程中离开所述第二入口(29)的流动被导向被竖直地定向在所述锁止室中的衬底的背面侧。2.根据权利要求1所述的锁止室，其中，所述锁止室是用于提供在低压与大气压之间的过渡的卸载锁止室。3.根据权利要求1所述的锁止室，其中所述控制器(30)适合于计算经优化的流率和/或适合于从数据库读取所存储的流率信息。4.根据权利要求3所述的锁止室，还包括至少一个测量单元(60)，所述测量单元从以下一者或多者中选择：用于判断所述衬底的振动的振动传感器；用于判断在所述室内的流动的流动传感器；以及用于测量所述室内在所述衬底的所述正面侧和所述背面侧这两侧上的压力的一对压力传感器。5.根据权利要求4所述的锁止室，其中，所述测量单元被连接到所述控制器(30)，以向所述控制器不断地提供...

【专利技术属性】
技术研发人员：托马斯·格贝尔，托马斯·莱普尼茨，沃夫冈·布斯史贝克，斯特凡·班格尔特，拉尔夫·林德伯格，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：