无水印产生的方法及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术无水印（ｗａｔｅｒ ｍａｒｋｅｒ）产生的方法及其装置的发明专利技术目的在于，在被清洗物件（晶圆）清洗后的干燥过程中，通过将被清洗物件（晶圆）浸渍于可溶解于水、挥发性大于水的液态异丙醇（Ｉｓｏｐｒｏｐｙｌ Ａｌｃｏｈｏｌ，ＩＰＡ），继而以ＩＰＡ干燥装置将被清洗物件（晶圆）上的溶剂（相互溶解的液态异丙醇与水分）进行蒸发消除及污染物质的移除，使被清洗物件（晶圆）的外表面上不产生水印，以提高被清洗物件（晶圆）的合格率。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种无水印产生的方法，适用于经水分冲洗后之被清洗物件，该无水印产生的方法具有下列步骤：提供第一工作流体，该第一工作流体的挥发性大于该水分的挥发性，并且该第一工作流体与该水分互溶；将经过该水分冲洗后之该被清洗物件浸入于该第一工作流体中 ，使得附着于该被清洗物件之该水分与该第一工作流体互溶；及将浸泡于该第一工作流体中之被清洗物件取出后，置放于一干燥装置内部进行干燥处理。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈逸男，徐文吉，
申请(专利权)人：南亚科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]