【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种通过向清洗目标物例如包括电子元件的部件或装置喷射干冰来对其进行清洗的方法，其特征在于，在向清洗目标物喷射干冰过程中，清洗剂滴向或喷向清洗目标物，且通过干冰和清洗剂同时作用于清洗目标物的清洗表面来进行清洗。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：冈泽昌毅，岩间秀男，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。