清洗系统及其操作方法技术方案

一种清洗系统，适用于清洗检测电极，清洗系统包括套筒、伸缩件及清洗装置。上述套筒套接于检测电极的基座上，且套筒内壁与基座贴合，其中套筒侧壁具有至少一第一开孔，以暴露出检测电极的感测部，且套筒底部具有多个第二开孔。另外，伸缩件与套筒连接，以使套筒可上下移动。清洗装置将清洗液注入套筒中，以清洗检测电极。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种清洗系统，适用于清洗一检测电极，该清洗系统包括：一套筒，套接于该检测电极的一基座上，且该套筒内壁与该基座贴合，其中该套筒侧壁具有至少一第一开孔暴露出该检测电极的一感测部，且该套筒底部具有多个第二开孔；一伸缩件，与该套筒连接，使该套筒可上下移动；以及一清洗装置，将一清洗液注入该套筒中，以清洗该检测电极。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄政忠，宋坤森，陈宏苑，
申请(专利权)人：力晶半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]