【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于深紫外投影光刻物镜装调补偿与功能性补偿领域,具体涉及一种光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置。
技术介绍
投影光刻装备是大规模集成电路制造工艺中的关键设备,近年来随着集成电路线宽精细程度的不断提高,投影光学装备的分辨率亦逐渐提高,目前波长193. 368nm的ArF准分子激光器投影光刻装备已成为90nm、65nm和45nm节点集成电路制造的主流装备。投影光刻物镜的装配过程中,为获得良好的光学性能需要对光学系统的各种像差 进行补偿,从而相应地需要对某些敏感光学元件的Z轴向位移、绕X轴倾斜tip和绕Y轴倾斜tilt进行调整。同时投影光刻物镜在使用过程中,由于物镜内部的环境改变、加工产品的变化等情况,也需要相应地调整物镜内部的某些敏感光学元件的Z轴向位移、绕X轴倾斜tip和绕Y轴倾斜tilt。
技术实现思路
本专利技术为解决光刻投影物镜光学元件Z、tip、tilt三自由度高精度调整问题,提出一种基于3-RPS并联机构的光学元件柔性微动调整装置,尤其适用于深紫外投影物镜中光学透镜的微动调整。本专利技术光刻投影物镜中的透镜Z、tip、tilt三自由度调整装置,包括镜框、镜筒、三个运动支链和三对双电容传感器;所述镜框和镜筒通过三个运动支链连接;所述每个运动支链均由柔性球铰、驱动器和单轴柔性铰链组成,驱动器位于柔性球铰的下面,单轴柔性铰链位于驱动器下面,三个运动支链沿周向间隔120°均匀分布;每对双电容传感器的上电极板和下电极板分别固定在镜框和镜筒上,且三对双电容传感器周向间隔120°均匀分布。本专利技术的有益效果本专利技术所述的光学元件Z、ti ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.光学元件z、tip、tilt三自由度微动调整装置,包括镜框(I)、镜筒(2)、三个运动支链(3)和三对双电容传感器(4),其特征在于,所述镜框(I)和镜筒(2)通过三个运动支链(3 )连接;所述每个运动支链(3 )均由柔性球铰(3-1 )、驱动器(3-2 )和单轴柔性铰链(3-3 )组成,驱动器(3-2)位于柔性球铰(3-1)的下面,单轴柔性铰链(3-3)位于驱动器(3-2)下面,三个运动支链(3)沿周向间隔120°均匀分布;每对双电容传感器(4)的上电极板(4-1)和下电极板(4-2)分别固定在镜框(I)和镜筒(2)上,且三对双电容传感器(4)周向间隔120°均匀分布。2.根据权利要求I所述的光学元件Z、tip、tilt三自...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵磊,巩岩,倪明阳,孙振,
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,
类型:发明
国别省市:
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