悬浮式涂敷装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供悬浮式涂敷装置。本发明专利技术的课题是以短时间简便地进行可分解的悬浮台的再组装作业中的高度调整。在该抗蚀剂涂敷装置的悬浮台(10)，出口侧的工作台块(SBa)通过多个支柱(18)和调节器(20)被安装在能够独立输送的台座(FLA)上。中间的三个工作台块(SBb)、(SBc)、(SBd)通过多个支柱(22)、(24)、(26)和调节器(28)、(30)、(32)被分别安装在能够独立输送的台座(FLB)上。出口侧的工作台块(SBe)通过多个支柱(34)和调节器(36)被安装在能够独立输送的台座(FLC)上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一边在工作台上悬浮输送基板一边在基板上涂敷处理液的悬浮方式的涂敷装置。
技术介绍
在平板显示器(FPD =Flat Panel Display)的制造工艺中的光刻工序中，多使用对具有狭缝状的排出口的长条形的抗蚀剂喷嘴进行相对扫描、在被处理基板上涂敷抗蚀剂液的无旋转的涂敷法。作为这样的无旋转涂敷法的一个方式，例如已知有如下 所示的悬浮方式如在专利文献I中公开的方式，将Fro用的矩形形状的被处理基板(例如玻璃基板)在稍长的悬浮台上悬浮于空中，向水平的一个方向(工作台的长边方向)输送，在输送途中的涂敷处理位置，通过从设置在工作台上方的长条形的抗蚀剂喷嘴呈带状地排出抗蚀剂液，由此从基板上的一端至另一端涂敷有抗蚀剂液。这样的悬浮方式的抗蚀剂涂敷装置所使用的悬浮台为，从该工作台上表面向垂直上方喷出高压的气体(通常为空气)，通过该高压空气的压力使基板以水平姿势悬浮。而且，配置在悬浮台的左右两侧的直线运动型的输送部，以可装卸的方式保持悬浮在悬浮台上的基板，将基板向长边方向输送。悬浮台的上表面(悬浮面)沿输送方向分割为搬入区域、涂敷区域、搬出区域的三个区域。涂敷区域在此为向基板上供给抗蚀剂液的区域，长条形的抗蚀剂喷嘴配置于涂敷区域的中心部的上方。涂敷区域的悬浮高度规定抗蚀剂喷嘴的下端(排出口)和基板上表面(被处理面)之间的涂敷间隙(例如200i!m)。该涂敷间隙是左右抗蚀剂涂敷膜的膜厚和抗蚀剂消耗量的重要参数，需要以高精度维持为固定。因此，在涂敷区域的工作台上表面，还与喷出高压空气的喷出口混合设置有多个以负压吸入空气的吸引口。而且，对通过基板的涂敷区域的部分，从喷出口施加高压空气的垂直向上的力，同时，从吸引口施加负压吸引力的垂直向下的力，控制相互抵抗的两个方向的力的平衡，由此，以大的悬浮刚性稳定地保持规定的悬浮高度(通常为30 60 ii m)。这样，涂敷区域是将多个喷出口和吸引口混合设置、以能够获得大的悬浮刚性的精密的小的悬浮高度使基板悬浮的精密悬浮区域，平均单位面积的成本相当高。本来，输送方向的涂敷区域的尺寸具有能够在抗蚀剂喷嘴的正下方附近稳定地形成上述那样的窄的涂敷间隙程度的余地即可，通常比基板的尺寸小、例如1/3 1/10左右即可。与此相对，搬入区域是搬入基板和开始悬浮输送的区域，搬出区域是结束悬浮输送和搬出基板的区域。搬入区域和搬出区域的悬浮高度不需要特别高的精度，悬浮刚性也可以小，因此通常保持在200 2000 u m的粗略的范围内即可。另一方面，搬入区域和搬出区域在输送方向上具有超过基板的尺寸。因此，在搬入区域和搬出区域，专门在整个一个面上设置有喷出口。现有技术文献专利文献I :日本特开2005-244155号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题上述那样的悬浮方式的抗蚀剂涂敷装置与其它的FPD制造装置相同，在装置制造商的制作工厂被组装，接受最终试验和装置性能的确认。然后，抗蚀剂涂敷装置被分解为硬件上的构成要素(单元、模块、子组件等)。然后，被分解的构成要素通常被分至多个卡车或集装箱被运至交货目的地(FPD制造工厂)，在装置工作场所再次组装抗蚀剂涂敷装置。在此成为问题的是悬浮台在交货目的地的安装调整需要耗费巨大的劳力和时间。即，抗蚀剂涂敷装置所使用的悬浮台其全长为基板的数倍，在LCD (液晶显示器)用时超过足有5m。因此，近年来，将悬浮台分割为能够按搬入区域、涂敷区域、搬出区域区别分离的三个工作台块的方式成为常态，将这些工作台块分别安装在独立的台座，以一组工作台块和台座为一个构成要素(子组件)地进行分解 输送，在交货目的地的设置 场所，将三组台座和工作台块排列为一列，再次组装悬浮台。此时，手动操作在各子组件中设置在台座和工作台块之间的调节器，使各工作台块的高度位置一致。但是，相对于搬入区域和搬出区域的悬浮高度为200 2000 iim，涂敷区域的悬浮高度为30 60 y m,比前者小一个数量级或两个数量级。因此，在分别搭载搬入区域和搬出区域的两端的工作台块与搭载涂敷区域的中间工作台块之间，必须将高度位置的差异或高低差(阶梯差)抑制在数十Pm以下。否则，当对基板进行悬浮输送时，存在基板擦到工作台块边界的高低差部分引起损伤乃至破损的问题。根据上述理由，在现有的悬浮式抗蚀剂涂敷装置中，在交货目的地的装置再组装作业中，仅调整工作台块的高度位置就花费一天的情况也不罕见，给现场有关人员造成很大的负担和不便。本专利技术是解决上述那样的现有技术的问题的技术，提供能够以短时间简便地进行能够分解的悬浮台的再组装作业的高度调整的悬浮式涂敷装置。用于解决问题的方式本专利技术的第一方面的悬浮式涂敷装置，包括悬浮台，其将第一粗略悬浮区域、精密悬浮区域和第二粗略悬浮区域沿输送方向依此顺序设置为一列，在上述精密悬浮区域，使基板以适合进行涂敷处理的精密的第一悬浮高度悬浮在空中，在上述第一粗略悬浮区域和第二粗略悬浮区域，使上述基板以比上述第一悬浮高度大且粗略的第二悬浮高度悬浮在空中；基板输送部，其将悬浮在上述悬浮台上的上述基板以能够装卸的方式保持并将上述基板从上述第一粗略悬浮区域通过上述精密悬浮区域输送至上述第二粗略悬浮区域；和处理液供给部，其具有在上述精密悬浮区域内向上述基板的被处理面排出涂敷用处理液的长条形的喷嘴，其中，将上述悬浮台沿输送方向至少分割为第一、第二、第三、第四、第五的五个工作台块，这些工作台块以能够物理分离的方式构成，在上述第一工作台块搭载上述第一粗略悬浮区域的一部分，在上述第二工作台块搭载上述第一粗略悬浮区域的剩余部分的一部分或全部，在上述第三工作台块搭载上述精密悬浮区域的全部，在上述第四工作台块搭载上述第二粗略悬浮区域的一部分，在上述第五工作台块搭载上述第二粗略悬浮区域的剩余部分的一部分或全部，将上述第二、第三和第四工作台块排列安装在能够独立地搬运的第一台座上，具备在上述第一台座上分别对上述第二、第三和第四工作台块的高度位置单独地进行调整的第一高度调整部。在上述第一方面的装置结构中，使第二、第三和第四工作台块一致的高度调整由于必须以第一悬浮高度为基准进行，所以需要麻烦的作业。但是，这些高度调整一旦进行，则即使将悬浮台分解为第一 第五(或其以上)工作台块，第二、第三和第四工作台块间的高度关系也在公用的(第一)台座上被保持为固定，因此，当再次组装悬浮台时，不需要实施以第一悬浮高度为基准的要求精度的麻烦的高度调整作业。悬浮台的再组装作业中的高度调整在第一工作台块与第二工作台块之间和第四工作台块与第五工作台块之间，按以第二悬浮高度为基准的比较宽松的要求精度进行即可。另外，本专利技术的第二方面的悬浮式涂敷装置，包括悬浮台，其将第一粗略悬浮区域、精密悬浮区域和第二粗略悬浮区域沿输送方向依此顺序设置为一列 ，在上述精密悬浮区域，使基板以适合进行涂敷处理的精密的第一悬浮高度悬浮在空中，在上述第一粗略悬浮区域和第二粗略悬浮区域，使上述基板以比上述第一悬浮高度大幅粗略的第二悬浮高度悬浮在空中；基板输送部，其将悬浮在上述悬浮台上的上述基板以能够装卸的方式保持并将上述基板从上述第一粗略悬浮区域通过上述精密悬浮区域输送至上述第二粗略悬浮区域；和处理液供给部，其具有在上述精密悬浮区域内向上述基板的被处理面排出涂敷用处理液的长条形的喷嘴，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2011.03.01 JP 2011-0441151.一种悬浮式涂敷装置，其包括悬浮台，其将第一粗略悬浮区域、精密悬浮区域和第二粗略悬浮区域沿输送方向依此顺序设置为一列，在所述精密悬浮区域，使基板以适合进行涂敷处理的精密的第一悬浮高度悬浮在空中，在所述第一粗略悬浮区域和第二粗略悬浮区域，使所述基板以比所述第一悬浮高度大且粗略的第二悬浮高度悬浮在空中；基板输送部，其将悬浮在所述悬浮台上的所述基板以能够装卸的方式保持并将所述基板从所述第一粗略悬浮区域通过所述精密悬浮区域输送至所述第二粗略悬浮区域；和处理液供给部，其具有在所述精密悬浮区域内向所述基板的被处理面排出涂敷用处理液的长条形的喷嘴，该悬浮式涂敷装置的特征在于 将所述悬浮台沿输送方向至少分割为第一、第二、第三、第四、第五的五个物理上能够分离的工作台块， 在所述第一工作台块搭载所述第一粗略悬浮区域的一部分，在所述第二工作台块搭载所述第一粗略悬浮区域的剩余部分的一部分或全部，在所述第三工作台块搭载所述精密悬浮区域的全部，在所述第四工作台块搭载所述第二粗略悬浮区域的一部分，在所述第五工作台块搭载所述第二粗略悬浮区域的剩余部分的一部分或全部， 将所述第二、第三和第四工作台块排列安装在能够独立搬运的第一台座上， 具备在所述第一台座上分别对所述第二、第三和第四工作台块的高度位置单独地进行调整的第一高度调整部。2.如权利要求I所述的悬浮式涂敷装置，其特征在于 将所述第一工作台块安装在能够独立搬运的第二台座上， 具备在所述第二台座上分别对所述第一工作台块的高度位置进行调整的第二高度调整部。3.如权利要求2所述的悬浮式涂敷装置，其特征在于 将所述第五工作台块安装在能够独立地搬运的第三台座上， 具备在所述第三台座上对所述第五工作台块的高度位置进行调整的第三高度调整部。4.如权利要求I 3中的任一项所述的悬浮式涂敷装置，其特征在于 在所述第一粗略悬浮区域和第二粗略悬浮区域，配置多个专门喷出用于向所述基板施加垂直向上的压力的气体的喷出口， 在所述精密悬浮区域，将多个喷出用于向所述基板施加垂直向上的压力的气体的喷出口和用于向所述基板施加垂直向下的压力的气体的吸引口混合设置。5.如权利要求I 3中的任一项所述的悬浮式涂敷装置，其特征在于 所述第一悬浮高度至少在所述精密悬浮区域内的所述喷嘴的正下方附近为30 60 u m， 所述第二悬浮高度至少在所述第一粗略悬浮区域的搭载在所述第一工作台块的部分和所述第二粗略悬浮区域的搭载在所述第五工作台块的部分为200 2000 u m。6.如权利要求I 3中的任一项所述的悬浮式涂敷装置，其特征在于 所述第二悬浮高度，在所述第一粗略悬浮区域的搭载在所述第二工作台块的部分在输送方向逐渐变小，在所述第二粗略悬浮区域的搭载在所述第四工作台块的部分在输送方向逐渐变大。7.—种悬浮式涂敷装置，其包括悬浮台，其将第一粗略悬浮区域、精密悬浮区域和第二粗略悬浮区域沿输送方向依此顺序设置为一列，在所述精密悬浮区域，使基板以适合进行涂敷处理的精密的第一悬浮高度悬浮在空中，在所述第一粗略悬浮区域和第二粗略悬浮区域，使所述基板以比所述第一悬浮高度大且粗略的第二悬浮高度悬浮在空中；基板输送部，其将悬浮在所述悬浮台上的所述基板以能够装卸的方式保持并将所述基板从所述第一粗略悬浮区域通过所述精密悬浮区域输送至所述第二粗略悬浮区域；和处理液供给部，其具有在所述精密悬浮区域内向所述基板的被处理面排出涂敷用处理液的长条形的喷嘴，该悬浮式涂敷装置的特征在于 将所述悬浮台沿输送方向至少分割为第一、第二、第三的三个...

【专利技术属性】
技术研发人员：稻益寿史，宫崎文宏，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：