【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术是关于一种共振激振器,尤其指一种适用于低频率研究的水平共振低频激振器。
技术介绍
现代的工业环境中,充满各种影响产品制造的变数,而振动因素对于工业产品制造的影响,近来越来越受到重视。因为对于精密产品的制造,例如半导体IC产品的制造,环境振动频率的影响十分重大。而低频(频率约小于12.5Hz)振动对于精密产品(例如半导体)业的影响,近来受到精密产品(例如半导体)制造业的重视。因为,近来由于交通建设的密度及能量的提高,精密产品(例如半导体)制造环境中极易遇到有低频振动充斥的环境(例如高速铁路通过的工业厂区)。因此精密产品(例如半导体)仪器设备商以及精密产品(例如半导体)制造业,皆努力减少低频振动对精密产品(例如半导体)制造的不良影响,并致力于低频振动对精密产品(例如半导体)制造的评估研究。因而,需要一种方便有效的低频激振器,产生以低频为主的振动,以作为模拟该低频环境以提供研究,改良或测试的用途。而一般交通建设的垂直振动幅度,与一般环境的振动背景值相当,并且也较容易模拟重现(例如,南部科学园区)。而于水平振动方面,于高于12.5Hz的振动幅度,也约与自然环 ...
【技术保护点】
一种水平共振低频激振器,包含: 一偏心质量式激振单元,以提供低频共振振动能量; 一固定支撑单元,以支撑该偏心质量式激振单元;以及 一水平传导弹性单元,设置于偏心质量式激振单元的一侧,使得偏心质量式激振单元所产生的低频共振振动能量可以传导至水平传导弹性单元。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘云辉,黄宇中,
申请(专利权)人:财团法人工业技术研究院,
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]
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