本发明专利技术提供一种浮起式涂敷装置，在浮起台加大划分浮起台组块的边界(接缝)的台阶的容许度，能够简便并且短时间进行浮起面的高度位置调整作业。在浮起台(10)中，左端的搬入用浮起台组块(SBA)搭载配置多个仅有喷出口(12)的第一粗略浮起区域(MIN)。在中间的浮起台组块(SBB)局部搭载在输送方向(X方向)的两端部设置多个仅有喷出口(12)的上推浮起区域(MP、MQ)，并且在这些之间搭载混合多个配置喷出口(12)和吸引口(14)的精密浮起区域(MCT)。此外，在右端的搬出用浮起台组块(SBC)搭载配置多个仅有喷出口(12)的第二粗略浮起区域(MOUT)。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在浮起台上浮起输送基板并在基板上涂敷处理液的浮起方式的涂敷装置。
技术介绍
平板显示器(FPD)的制造エ序中的光刻エ序中，常用具有狭缝状的喷出口的长尺寸型的抗蚀剂喷嘴相対的进行扫描，在被处理基板上涂敷抗蚀剂液的非旋转(spinless)涂敷法。 作为这样的非旋转涂敷法的ー种形式，例如专利文献I中公开的，已知如下的浮起方式=Fro用的矩形的被处理基板(例如，玻璃基板)在长的浮起台上浮在空中，向水平的ー个方向(浮起台的长边方向)输送，通过在输送途中的涂敷处理位置从设置在浮起台上方的长尺寸型的抗蚀剂喷嘴带状地喷出抗蚀剂液，由此，从基板上的一端到另一端，涂敷抗蚀剂液。这样的浮起方式的抗蚀剂涂敷装置中使用的浮起台，从该浮起台上表面向垂直上方喷出高压气体(通常为空气)，通过该高压空气的压力，基板以水平姿势悬浮。配置在浮起台的左右两侧的直线运动型的输送部，将浮在浮起台上的基板以能够装卸的方式保持，并在浮起台的长边方向输送基板。浮起台的上表面(浮起面)，沿着输送方向被划分为三个区域，即输送区域、涂敷区域和搬出区域。涂敷区域为向基板上供给抗蚀剂液的区域，长尺寸型抗蚀剂喷嘴配置在涂敷区域的中心部的上方。涂敷区域中浮起高度规定抗蚀剂喷嘴的下端(喷出口)与基板上表面(被处理面)之间的涂敷间距(例如200 μ m)。该涂敷间距是决定抗蚀剂涂敷膜的膜厚、抗蚀剂消耗量的重要參数，必须以高精度維持一定。由此，涂敷区域的浮起台上表面，与喷出高压空气的喷出口混合存在，设置多个负压的吸入空气的吸引ロ。针对通过基板的涂敷区域的部分，从喷出口施加由高压空气所产生的垂直向上的力，同时，从吸引ロ施加由负压吸引力所产生的垂直向下的力，控制相对抗的双方向的力的平衡，由此，以大的浮起刚性稳定保证规定的浮起高度(通常为30 60 μ m)。如此，涂敷区域为将喷出口和吸引ロ多个混合，使基板以得到大的浮起刚性的精密的小的浮起高度浮起的精密浮起区域，每单位面积的成本相当高。并且，输送方向的涂敷区域的尺寸，只要在抗蚀剂喷嘴正下方附近具有能够稳定形成上述那样狭小的涂敷间距程度的余地即可，也可比通常的基板尺寸小，例如可为1/3 1/10左右。与此相对，输送区域为基板的搬入和开始进行浮起输送的区域，搬出区域为浮起输送的结束和进行基板的搬出的区域。搬入区域和搬出区域的浮起高度，没必要为特别高的精度，浮起刚性小也可以，因此，通常保持在200 2000 μ m的大概的范围内。另ー方面，搬入区域和搬出区域，具有在输送方向上超过的基板尺寸，由此，搬入区域和搬出区域，在一面设置专门喷出ロ。现有技术文献专利文献I日本特开2005-244155号公报
技术实现思路
上述浮起方式的抗蚀剂涂敷装置，与其它的FPD制造装置同样，在装置制造商的制作エ厂内组装，接受最終试验和装置性能的确认。其后，抗蚀剂涂敷装置，分解为硬件上的构成元件(单元、组件、局部装配(sub assembly)件等)。分解的构成元件通常被分至多台卡车或集装箱，输送至目的地(FPD制造エ厂)，在装置工作场所再次组装为抗蚀剂涂敷装置。在此的问题是，在送货目的地将浮起台的搬入区域、涂敷区域和搬出区域的各浮起面调整为相同高度需要花费很大的劳动量和时间。S卩，抗蚀剂涂敷装置中使用的浮起台，其全长为基板的数倍，用于LCD(液晶显示 器)的有的超过了 5m。因此，近年来，通常将浮起台设为分别按照搬入区域、涂敷区域、搬出区域能够分离的这三个浮起台组块(stage block),这些浮起台组块各自独立安装在台架上，一组浮起台组块和台架成为ー个构成元件(局部装配部)，进行分解 输送，在送货目的地的设置场所，三组台架和浮起台组块排成一列，再次组装浮起台。此时，对各局部装配中设置在台架与浮起台组块之间的调节器进行手动操作，将各浮起台组块的高度位置对齐。但是，相对于搬入区域和搬出区域的浮起高度为200 2000 μ m，涂敷区域的浮起高度为30 60 μ m,小一个数量级或ニ个数量级。因此，分别搭载搬入区域和搬出区域的两端的浮起台组块与搭载涂敷区域的中间的浮起台组块之间，高度位置的差异或台阶差必须要抑制在数ΙΟμπι以下。更正确的，如后所述，搬入区域与涂敷区域之间，前者(搬入区域)的浮起面比后者(涂敷区域)的浮起面更高时的台阶差的容许度小，当该台阶超过涂敷区域的浮起高度(30 60 μ m),基板就会与该台阶部分摩擦,有可能损伤。此外,涂敷区域与搬出区域之间，后者(涂敷区域)的浮起面比前者(搬入区域)的浮起面更高时的台阶的容许度小，该台阶超过涂敷区域的浮起高度，基板会与该台阶部分抵接，有可能损伤。从上述理由出发，现有的浮起式抗蚀剂涂敷装置中，在送货目的地的装置的再组装作业中，仅调整浮起台组块的高度位置就花费整整一天也不稀奇，对现场的工作人员来说带来非常大的负担和不便。再者，进行浮起台的高度调整，对齐各浮起台组块的高度位置，由于经时变化和其它的维修等，浮起台组块的接缝有可能产生超过容许值的不期望的高度的台阶(高低差)。因此，不得不定期或随时频繁进行非常麻烦的浮起台浮起面的高度位置的调整。本专利技术是解决上述现有问题的专利技术，提供一种浮起式涂敷装置，在能够分解为对应浮起高度的多个浮起台组块的浮起台中，加大在浮起台组块的边界处(接缝)的台阶的容许度、简单进行浮起面的高度位置调整作业，并且改善浮起式涂敷处理的安全性和可靠性。本专利技术的第一观点的浮起式涂敷装置，包括浮起台，在连接配置的物理上能够分离的第一浮起台组块和第二浮起台组块分别搭载粗略浮起区域和精密浮起区域，在所述精密浮起区域的大部分区域，基板以适宜涂敷处理的精密的第一浮起高度浮在空中，在所述粗略浮起区域，所述基板以比所述第一浮起高度更大的粗略的第二浮起高度浮在空中；基板输送部，将所述基板以能够装卸的方式保持，并将所述基板按照所述粗略浮起区域和所述精密浮起区域的顺序在所述浮起台上输送；和处理液供给部，具有在所述精密浮起区域内的规定位置，向着浮在所述第一浮起高度的所述基板的被处理面喷出涂敷用的处理液的长尺寸型的喷嘴，其中，在所述第二浮起台组块的与所述第一浮起台组块连接的端部附近，与所述精密浮起区域邻接地设置有以比所述第一浮起高度更高的第三浮起高度使所述基板浮起的上推浮起区域。上述结构中，连接第一浮起台组块和第二浮起台组块时，相对于粗略浮起区域侧的第一浮起台组块，精密浮起区域侧的第二浮起台组块变低造成在两者的边界(接縫)产生不期望的台阶的情况下，第一浮起台组块的粗略浮起区域上的粗略浮起高度屈从于第二浮起台组块的涂敷区域上的精密浮起高度而下降，但是位于涂敷区域的上流侧旁的上推浮起区域上的上推浮起高度比精密浮起高度还高一段，因此，台阶如果是没有超过上推浮起高度的尺寸，基板不会与第一浮起台组块的后端角部摩擦而通过其上。如此，通过在第二浮起台组块的始端部，设置得到比精密浮起高度更高的上推浮起高度的上推浮起区域，能够使得第一浮起台组块和第二浮起台组块之间产生的不期望的台阶的容许量比现有的大。本专利技术的第二观点中的浮起式涂敷装置，包括浮起台，在连接配置的物理上能 够分离的第一浮起台组块和第二浮起台组块分别搭载精密浮起区域和粗略浮起区域，在所述精密浮起区域的大部分的区域，基板以适宜涂敷处理的精密的第一浮起本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
2011.03.16 JP 2011-0576271.一种浮起式涂敷装置，其特征在于，包括 浮起台，在连接配置的物理上能够分离的第一浮起台组块和第二浮起台组块分别搭载粗略浮起区域和精密浮起区域，在所述精密浮起区域的大部分区域，基板以适宜涂敷处理的精密的第一浮起高度浮在空中，在所述粗略浮起区域，所述基板以比所述第一浮起高度更大的粗略的第二浮起高度浮在空中； 基板输送部，将所述基板以能够装卸的方式保持，并将所述基板按照所述粗略浮起区域和所述精密浮起区域的顺序在所述浮起台上输送；和 处理液供给部，具有在所述精密浮起区域内的规定位置，向着浮在所述第一浮起高度的所述基板的被处理面喷出涂敷用的处理液的长尺寸型的喷嘴，其中， 在所述第二浮起台组块的与所述第一浮起台组块连接的端部附近，与所述精密浮起区域邻接地设置有以比所述第一浮起高度更高的第三浮起高度使所述基板浮起的上推浮起区域。2.如权利要求I所述的浮起式涂敷装置，其特征在于 在所述上推浮起区域，配置多个喷出专门用于向所述基板施加垂直向上的压力的气体的喷出口。3.如权利要求I所述的浮起式涂敷装置，其特征在于 在所述上推浮起区域，喷出专门用于向所述基板施加垂直向上的压力的气体的喷出口，和喷出用于向所述基板施加垂直向下的压力的气体的吸引口混合配置有多个。4.如权利要求I 3中的任一项所述的浮起式涂敷装置，其特征在于 将所述第一浮起台组块和第二浮起台组块分别安装在能够单独搬运的第一台架和第二台架上。5.如权利要求4所述的浮起式涂敷装置，其特征在于 在所述第一台架和第二台架的至少一个上，具备对所述浮起台组块的浮起面的高度位置进行调整的高度位置调整部。6.一种浮起式涂敷装置，其特征在于，包括 浮起台，在连接配置的物理上能够分离的第一浮起台组块和第二浮起台组块分别搭载精密浮起区域和粗略浮起区域，在所述精密浮起区域的大部分的区域，基板以适宜涂敷处理的精密的第一浮起高度浮在空中，在所述粗略浮起区域，所述基板以比所述第一浮起高度更大的粗略的第二浮起高度浮在空中； 基板输送部，将所述基板以能够装卸的方...
【专利技术属性】
技术研发人员：稻益寿史，宫崎文宏，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：
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