旋转涂敷方法与设备及液体材料的硬化方法与设备技术

当使用可辐射硬化的液体材料通过旋转涂敷在盘体上实现成膜时，在向安装在用于驱转盘体的旋转器上的盘体的附近供给可辐射硬化的液体材料进行旋转涂敷时，使盘体旋转并通过离心力在盘体上散布液体材料，从而在盘体表面形成液体材料的涂层，在旋转涂敷期间盘体旋转停止之前，向盘体施加具有使可辐射硬化的液体材料硬化的作用的辐射，从而降低了作为向盘体的涂敷而施加的液体材料的流动性。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
,及用于该方法与设备的掩模的制作方法
本专利技术涉及用于通过使用旋转涂敷方法向盘体施涂可辐射硬化的材料的方法和设备。本专利技术的方法和设备适用于制成种类广泛的盘体，包括CD型盘的光盘，诸如CD、CD-R及CD-RW，DVD型盘，诸如DVD-ROM，DVD-R，DVD-RW及DVD-RAM，以及近来在研发的使用蓝色激光的盘，和磁-光盘，诸如MO和MD。本专利技术还涉及在以下情形下使用旋转涂敷方法在盘体上实现成膜时所使用的掩模，即在CD型盘的光盘，诸如CD，CD-R，或CD-RW，DVD型盘，诸如DVD-ROM，DVD-R，DVD-RW或DVD-RAM，以及近来研发中使用蓝色激光的盘(disc coping with a blue laser)，或磁-光盘，诸如MO或MD的制造期间，并涉及使用该掩模的旋转涂敷方法和设备。另一方面，近年来，作为下一代信息记录介质的使用蓝色激光的盘的研发已经有进展。传统的小型光盘或DVD盘具有聚碳酸酯等透明的基片，并实现了信息从透明基片侧通过透明基片的复制(以及在记录型盘情形下的记录)，而这种使用蓝色激光的盘实现了信息从与基片相反侧的记录和复制。因而，必须在记录层(或反射层)上形成厚度0.1mm(100μm)的透明的透光层。已经提出在盘上粘贴厚度为0.1mm的透明膜作为这种透光层的技术，但是在某些情形下，会发生气泡进入膜和盘之间或在膜中生成波纹的麻烦情形。而且，把膜切割成圆形并将其粘贴的步骤消耗了大量的时间和劳力。于是，如果使用蓝色激光的这种盘拷贝透光层能够通过旋转涂敷形成，则将是方便的，但是传统的旋转涂敷有以下的问题，并因而被认为难以使用旋转涂敷技术用于蓝色激光盘的透光层的形成。就是说，在盘体的旋转涂敷期间，液体材料滴到盘体中心附近且盘被驱转，由于离心力液体材料以很均匀的膜厚分布到整个盘上。然而，当盘的旋转停止而离心力变为零时，由于分布在盘上的液体的表面张力所致会出现膜厚度的不均匀性，诸如在盘体的外周边附近使涂层隆起。在作为涂层被施涂的液体材料的黏滞性较高时，这将变得特别明显。在某些情形下这造成了很大的问题，例如在上述蓝色激光盘的透光膜的情形下，除非在记录区将误差抑制到相对于100μm的膜厚在±3μm数量级内的误差(非均匀性)，否则盘的记录-复制信号精度被恶化，但是由于上述表面张力所致的非均匀性有时大大超过这种情形。而且，在上述盘中，形成用于在将其装到盘驱动设备上期间定中心的一个孔(15φ)，并因为在注模期间为保持模压器而存在沟槽等，在盘基片的中心部分不形成膜(层)。因而，在使用旋转涂敷技术要在这些盘上实现成膜(膜的施涂)时，用于覆盖基片的掩模附加到其中心部分，使得盘能够不被涂敷，或者从其外周边部分而不是从上述的沟槽实现涂敷。当需要更均匀的膜施涂时，装设了用于覆盖盘面的掩模，以便在其中心部分不会实现涂敷。附图的图9表示在盘的旋转涂敷设备中使用掩模的一例。图9是一剖视图，表示安装在旋转涂敷设备的旋转器上的盘及置于其上的掩模。旋转器台202固定到一旋转器轴200，该轴与一未示出的马达(电动机)连接并由其旋转驱动。垫片203固定在旋转器台202上，且盘204置于其上。盘204是由一未示出的器具真空吸附在垫片203上的。用于覆盖盘的中心部分的掩模206置于盘204之上。这时，设在旋转器台202的上表面中心部分附近的环形凸起205适配在掩模206的环形沟槽206a中。在旋转涂敷期间，通过一管路210使旋转器台202的中心部分中的一个空间212成为真空，从而掩模206被吸附而固定。在涂敷的情形下，液体涂敷材料从上向掩模的中心部分附近供给。然后，转台以高速被驱转，且供给到掩模上的涂敷材料，通过旋转的离心力散布到盘上没有被掩模覆盖的部分的整个表面。从而，涂敷材料的膜(层)在盘的上述整个部分以相当均匀的厚度形成。当上述旋转涂敷过程终止时，掩模的真空吸附必须被释放，且必须移除掩模，但这时有以下问题。由于掩模是以气密状态真空吸附在转台202上，当要取下掩模时简单地通过使空间212去真空很难移除掩模。因而，在移除掩模期间，必须通过管路210向空间212给出一个正压力。然而另一方面，液体涂敷材料通过旋转涂敷施涂到掩模206及盘204上，因而在掩模206和盘204之间的边界部分(由图9中字符A所指部分)也由涂敷材料所覆盖。当处于这种状态，如上所述向空间212给出正压力时，空气从这一边界部分逃逸，并从而在这部分发生液体涂敷材料的散射。其结果可能是降低盘的质量，并在某些情形下，盘可能变为劣质品。为了实现以上的目的，本专利技术的旋转涂敷方法是这样一种旋转涂敷方法，包括向安装在用于驱转盘体的旋转器上的盘体的中心附近提供可辐射硬化的液体材料，驱转盘体并通过离心力使该液体材料在盘体上散布，从而在盘体表面形成液体材料的涂层膜，其特征在于这样的步骤，即在旋转涂敷期间盘体旋转停止之前，向盘体施加具有使可辐射硬化的液体材料硬化的作用的辐射，并降低作为涂层施涂到盘体上的液体材料的流动性。根据这一方法，在旋转涂敷期间盘体旋转停止之前，降低盘上液体材料的流动性，从而即使此后盘体的旋转停止，也不会发生由于表面张力所致涂敷膜的起波纹等，因为盘上的涂敷膜已被硬化到某种程度而降低了流动性，并因而能够形成均匀的膜。而且，在CD、DVD、蓝色激光盘等中，一般形成有安装它到盘驱动器时对准中心用的孔，并还有用于在注模期间保持模压器的沟槽等，因而在盘基片的中心部分不形成涂敷膜。于是，在本专利技术的一个方面，上述旋转涂敷方法还包括这样的步骤，即在涂敷之前用一掩模部件覆盖盘体中心部分附近的部分，且将可辐射硬化的液体材料提供给掩模部件，使得当在降低材料流动性的步骤向盘体施加辐射时，辐射不会施加到掩模部件上。由于辐射不施加到掩模部件，掩模部件上的液体材料不硬化，因而能够容易完成掩模部件的移除。在本专利技术的旋转涂敷方法中，还能够使用降低材料流动性的步骤作为暂时硬化步骤，该步骤将作为涂层施涂到盘体上的液体材料硬化到一定程度，并然后在一旦停止盘体的旋转并把盘体从旋转器移动到分开的地方后再执行主要的硬化步骤，并在那里向盘体施加具有使可辐射硬化的液体材料硬化的作用的辐射，从而完全硬化作为涂层施加到盘体的液体材料。而且，本专利技术的旋转涂敷设备是这样一种旋转涂敷设备，它包括用于夹持并驱转盘体的旋转器机构；用于把可辐射硬化的液体材料提供给由旋转器机构夹持的盘体的中心附近的配撒器机构；以及用于向由旋转器机构夹持的盘体施加具有使可辐射硬化的液体材料硬化的作用的辐射的辐射施加装置；其特征在于，在可辐射硬化的液体材料由配撒器机构提供给由旋转器机构夹持的盘体中心附近之后，盘体由旋转器机构驱转，从而液体材料在盘体上散布，并在盘体上形成液体材料涂敷膜，此后无需由旋转器机构停止盘体的旋转，而是保持盘体旋转，操作辐射施加装置并降低盘体上液体材料的流动性。为了使如上所述在盘体的中心附近不形成涂敷膜，本专利技术的旋转涂敷设备能够进而装设掩模部件提供装置，以便向夹持在旋转器机构上的盘体提供用于覆盖盘体中心部分附近部分的掩模部件，并能够做成这样的设计，使得配撒器机构向安装在盘体上的掩模部件提供可辐射硬化的液体材料，而辐射并不从辐射施加装置施加到安装在盘体上的掩模部件。而且，辐射施加装置能够用作为暂时本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种旋转涂敷方法，包括向安装在用于驱转盘体的旋转器上的盘体的中心附近提供可辐射硬化的液体材料，驱转盘体并通过离心力使所述液体材料在盘体上散布，从而在盘体表面形成所述液体材料的涂层膜，其特征在于这样的步骤，即在旋转涂敷期间盘体旋转停止之前，向盘体施加具有使可辐射硬化的液体材料硬化的作用的辐射，并降低作为涂层施涂到盘体上的液体材料的流动性。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金子幸生，野口荣作，三船裕喜，宇佐美守，亚田智树，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]