基板检查系统技术方案

本实用新型专利技术提供基板检查系统。在大型基板用的基板检查系统中，不降低生产效率及检查性能就能谋求节省空间。在用多种检查方法对被检查对象基板(G)进行检查的基板检查系统(31)中，包括：自动检查装置(50)，其用于利用摄像部拍摄被检查对象基板(G)而进行检查；架台，其具有横跨该自动检查装置(50)的门型形状的腿部；人工宏观检查装置(40)，其配置在该架台上，用于直视被检查对象基板(G)而进行目视检查；基板输送机器人，其用于对于自动检查装置(50)和人工宏观检查装置(40)输入、输出被检查对象基板(G)，人工宏观检查装置(40)借助上述架台独立于自动检查装置(50)地配置在自动检查装置(50)的上方。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及用于对在液晶显示器(IXD)、等离子体显示器(rop)等平板显示器(FPD)的制造 中所使用的大型基板进行检查的基板检查系统。
技术介绍
以往，在对平板显示器所使用的基板进行的检查中存在如下所述的目视检查(人工宏观检查)在将基板立起成规定角度的状态下从基板表面侧照射宏观照明光而利用目视根据来自基板的反射光的散射状况来判断缺陷，或者，在将基板垂直地立起的状态下从基板背面侧照射背光(back light)照明光而利用目视根据透射光的散射状况来判断缺陷。另外，存在利用显微镜等微观检查部将基板上的任意部位放大而观察缺陷的微观检查。不过，随着近年来的平板显示器的大型化，切割为多个平板显示器的母玻璃基板也大型化，例如，出现了 1500_X 1800mm以上的大型母玻璃基板。随着该母玻璃的大型化，包括人工宏观检查装置及微观检查装置在内的基板的生产线也大型化。因此，提出有通过用简单的装置进行人工宏观检查及微观检查而谋求节省空间的技术(例如，参照专利文献I及专利文献2)。这样的用于进行人工宏观检查及微观检查的装置如下这样设置例如，具有用于使微观检查装置的基板搭载部(基板保持件)立起到作业者侧的驱动部，在使基板搭载部立起的状态下从基板的上方照射宏观照明光而利用目视进行检查。专利文献I :日本特开2003-344294号公报专利文献2 日本特开2000-28537号公报不过，在以往的人工宏观检查过程中，在使保持有基板的基板保持件立起成适于检查者的目视观察的倾斜角度的状态下从基板的上方照射宏观照明光而检测反射光，或者，为了在使基板保持件铅垂地立起的状态下从基板的后方照射背光照明光而检测透射光，基板保持件优选使用仅保持基板的周缘的、中空结构的构件。但是，使用中空的基板保持件时，在基板中间部的基板保持力较弱，因此，基板易于发生晃动，在进行放大观察的微观检查过程中发生影像晃动等不良情况。因此，在微观检查过程中，优选使用用于水平地保持基板整体的由一张板形成的基板保持件。这样，用简单的装置进行人工宏观检查和微观检查时，如果优先进行微观检查，则应该选择由一张板形成的基板保持件。使用一张板的基板保持件时，不仅因玻璃基板透明而基板保持件上的划痕等可见而成为误检测的主要原因，而且存在不能进行利用背光照明进行的目视检查这样的问题。而且，在使用共用的基板保持件进行人工宏观检查和微观检查时，通过使微观检查装置的基板搭载部立起而进行人工宏观检查，因此，不能同时进行人工宏观检查和微观检查，从而也产生检查生产节拍时间变长、进而产生不能提高基板的生产效率这样的问题
技术实现思路
本技术的课题在于鉴于上述以往的情况、提供一种不降低生产效率及检查性能就能够谋求节省空间的大型基板用的基板检查系统。本技术提供一种基板检查系统，其用于用多种检查方法对被检查对象基板进行检查，在该基板检查系统中，包括自动检查装置，其用于利用摄像部拍摄上述被检查对象基板而进行检查；架台，其具有横跨上述自动检查装置的门型形状的腿部；人工宏观检查装置，其配置在上述架台上，用于直视上述被检查对象基板而进行目视检查；基板输送机器人，其用于对于上述自动检查装置和上述人工宏观检查装置输入、输出上述被检查对象基板，上述人工宏观检查装置借助上述架台独立于上述自动检查装置地配置在上述自动检查装置的上方。在本技术中，人工宏观检查装置与自动检查装置是相互独立的装置，因此，能够同时进行利用人工宏观检查装置进行的检查和利用自动检查装置进行的检查，不会降低两检查的运转效率，即使将人工宏观检查装置配置在自动检查装置的上方而谋求节省空 间，生产效率也不降低。而且，人工宏观检查装置与自动检查装置能够不使用共用的基板保持部而是使用适于各检查装置的基板保持部，因此，检查性能不降低。因此，采用本技术，不降低生产效率及检查性能就能够谋求基板检查系统的节省空间。附图说明图I是透视地表示本技术的一实施方式的基板检查系统的内部结构的主视图。图2是表示本技术的一实施方式的基板检查系统的基板输入状态的概略左视图。图3是透视地表示本技术的其他的实施方式的基板检查系统的内部结构的主视图。具体实施方式以下，参照附图对本技术的实施方式的基板检查系统进行说明。图I是透视地表示本技术的一实施方式的基板检查系统I的内部结构的主视图。图2是表示基板检查系统I的基板输入状态的概略左视图。如图I所示，基板检查系统I包括人工宏观检查装置10，其作为目视观察装置，用于作业者以目视进行观察；微观检查装置20，其作为自动检查装置，用于对用数字显微镜(摄像部)拍摄到的图像进行图像处理而检测缺陷；外壳2(以双点划线图示)，基板检查系统I对作为被检查对象基板的、例如作为一边为1500_以上的大型玻璃基板的平板显示器用的母玻璃基板(以下，简称为玻璃基板)G进行检查。人工宏观检查装置10具有基板保持件11，其作为基板保持部，用于保持玻璃基板G ;摆动机构，其用于使该基板保持件11倾斜成适于作业者的目视检查的角度；宏观照明光源16，其用于从上方对被保持于基板保持件11的玻璃基板G进行照射，该基板保持件11被该摆动机构倾斜。而且，人工宏观检查装置10具有用于在立起基板保持件11的状态下从玻璃基板G的背面侧照射透射光的背光照明光源17 (以双点划线图示)。摆动机构具有两个滑动部12，其用于枢轴支承保持件转动轴11a，该保持件转动轴Ila设在基板保持件11的两侧边的大致中央；两个框架13，其用于以该滑动部12能够滑动的方式支承该滑动部12 ;驱动部，其用于使这些框架13转动到规定的角度。驱动部例如由两个倾斜轴15构成，该两个倾斜轴15将各框架13以各框架13能够旋转的方式支承于人工宏观检查装置的架台，该两个倾斜轴15使两个臂部14连接于各框架13的与下述的固定轴18相反侧的一端，该两个倾斜轴15作为用于使臂部14上下运动的滑动轴驱动部。驱动部也可以是使驱动电动机连接于两个框架13的旋转轴而成的机构。另外，虽然分别配置有两个滑动部12、两个框架13、两个臂部14及两个倾斜轴15，但在图I的主视图中位于重叠的位置，因此，在图中仅图示了跟前侧。人工宏观检查装置10配置在微观检查装置20的上方，能够与利用该微观检查装置20进行的微观检查相互独立地进行目视检查。人工宏观检查装置10所采用的基板保持件11呈用于对形成为矩形状的玻璃基板G的周缘进行保持的中空的矩形框结构，能够以保持件转动轴Ila为中心进行转动。另外，如图2所示，基板保持件11利用多个周缘保持部Ilb对玻璃基板G的周缘进行保持。为了将较薄的玻璃基板G不至于发生挠曲那样水平地保持，该基板保持件11优选是将截面形状被形成为长方形的支承构件以比基板保持件11的上表面低的方式呈格子状配置在矩形框的内部，并在支承构件上设置用于吸附保持玻璃基板G的吸盘而形成的。通过利用该吸盘吸附玻璃基板G的背面，能够在基板保持件11摆动时抑制玻璃基板G的晃动。用于在例如基板保持件11的彼此相对的两个边的中央对基板保持件11进行枢轴支承的左右一对的滑动部12成I组地配置，滑动部12与平行配置的一对框架13相卡合，并能够在图示实线所示的位置与图示单点划线所示的位置之间(附图标记12-2、12-3)相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2011.01.06 JP 2011-0015151.ー种基板检查系统，其用于用多种检查方法对被检查对象基板进行检查，其特征在于， 该基板检查系统包括 自动检查装置，其用于利用摄像部拍摄上述被检查对象基板而进行检查； 架台，其具有横跨上述自动检查装置的门型形状的腿部； 人工宏观检查装置，其配置在上述架台上，用于直视上述被检查对象基板而进行目视检查； 基板输送机器人，其用于对于上述自动检查装置和上述人工宏观检查装置输入、输出上述被检查对象基板， 上述人工宏观检查装置借助上述架台独立于上述自动检查装置地配置在上述自动检查装置的上方。2.根据权利要求I所述的基板检查系统，其特征在干， 上述人工宏观检查装置具有基板保持部，其用于保持上述被检查对象基板；ー对框架，其具有规定的角度地配置，用于以上述基板保持部能够滑动的方式支承上述基板保持部。3.根据权利要求2所述的基板检查系统，其特征在干， 上述框架的基端侧延伸到比上述自动检查装置的最大高度位置低的位置。4.根据权利要求3所述的基板检查系统，其特征在干， 上述自动检查装置具有机架，该机架的上端作为上述最大高度位置，该机架用干支承摄像部，该机架固定设置在比上述基板输送机器人的上下移动动作空间靠外侧的位置，上述框架的基端侧延伸到不与上述机架及上述上下移动动作空间相干渉的位置。5.根据权利要求3所述的基板检查系统，其特征在干， 上述自动检查装置具有机架，该机架的上端作为上述...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈平裕幸，
申请(专利权)人：奥林巴斯株式会社，
类型：实用新型
国别省市：