热处理装置及其控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种热处理装置及其控制方法，在温度稳定时能够均匀地维持温度，在升温和降温时能够容易地控制。控制装置(51)能够利用控制区域的数量多的多控制区域模式(72a)以及控制区域的数量少的少控制区域模式(72b)，控制区域被分别控制。在升温和降温时利用少控制区域模式(72b)，根据来自数量少的控制区域(C1、…C5)的温度传感器(50)的信号来分别控制设置于各控制区域(C1、…C5)内的加热器(18A)。在温度稳定时利用多控制区域模式(72a)，根据来自数量多的控制区域(C1、…C10)的温度传感器(50)的信号来分别控制设置于各控制区域(C1、…C10)内的加热器(18A)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
在半导体设备的控制过程中，为了对被处理体例如半导体晶圆中实施氧化、扩散、CVD、退火等热处理而使用各种热处理装置。作为其之一可知一次能够进行多个的热处理的立式热处理装置。该立式热处理装置具备石英制的处理容器，其下部具有开口部；盖体，其打开和关闭该处理容器的开口部；保持器具，其设置于该壳体上，在上下方向上以规定的间隔保持多个被处理体；以及炉主体，其设置于上述处理容器周围，安装有加热器，该加热器对搬入到处理容器内的上述被处理体进行加热。另外，以往，还开发出了以下技术为了高精度地控制炉主体内的温度,将炉主体 内的空间划分为多个控制区域，在各控制区域内设置炉内温度传感器，并且按照各控制区域的每个控制区域来分割加热器，精细地控制各控制区域的温度。然而，当将炉主体内划分为多个控制区域而精细地控制各控制区域的每个控制区域时，在温度稳定时温度的均匀性提高，但是升温和降温时控制变得较难，从而存在控制参数的调谐费时这种问题。专利文献I :日本特开2002-305189号公报专利文献2 日本特开2005-188869号公报
技术实现思路
_7] 专利技术要解决的问题本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2011.03.01 JP 2011-0441971.一种热处理装置，其特征在于，具备 炉主体； 处理容器，其配置在上述炉主体内，在该处理容器与上述炉主体之间形成包括多个单位区域的空间，并且在该处理容器的内部收纳多个被处理体； 加热部，其以与空间的各单位区域相对应的方式被设置在上述炉主体的内面； 炉内温度传感器，其被设置为与空间的各单位区域相对应；以及控制装置，其根据来自与各单位区域相对应的炉内温度传感器的信号来控制与各单位区域相对应的加热部， 其中，上述控制装置具有控制区域的数量多的多控制区域模式以及控制区域的数量少的少控制区域模式，该控制区域由单位区域形成并且该控制区域被分别控制， 上述控制装置在升温和降温时利用控制区域的数量少的少控制区域模式来控制与各 控制区域相对应的加热部，在温度稳定时利用控制区域的数量多的多控制区域模式来控制与各控制区域相对应的加热部。2.根据权利要求I所述的热处理装置，其特征在于， 在多控制区域模式中各控制区域由一个单位区域形成，上述控制装置根据来自与该单位区域相对应的炉内温度传感器的信号来控制与该单位区域相对应的加热部，在少控制区域模式中至少一个控制区域由相邻的多个单位区域形成，上述控制装置根据来自与多个单位区域中的期望的单位区域相对应的炉内温度传感器的信号来控制与多个单位区域相对应的加热部。3.根据权利要求I所述的热处理装置，其特征在于， 上述控制装置根据在多控制区域模式中预先内置的多控制区域用数值模型来控制与各控制区域相对应的加热部，根据在少控制区域模式中预先内置的少控制区域用数值模型来控制与各控制区域相对应的加热部。4.根据权利要求I所述的热处理装置，其特征在于， 在上述炉主体上连接鼓风机并且在上述炉主体上设置排气管，该鼓风机通过冷却介质提供管线向上述炉主体与上述处理容器之间的空间内提供冷却介质， 上述控制装置根据来自与各单位区域相对应的炉内温度传感器的信号来控制与各单位区域相对应的加热部并且控制上述鼓风机。5.根据权利要求4所述的热处理装置，其特征在于， 上述控制装置在升温和降温时利用少控制区域模式来控制与各控制区域相对应的加热部并且控制上述鼓风机。6.一种热处理装置，其特征在于，具备 炉主体； 处理容器，其配置在上述炉主体内，在该处理容器与上述炉主体之间形成包括多个单位区域的空间，并且在该处理容器的内部收纳多个被处理体； 加热部，其以与空间的各单位区域相对应的方式被设置在上述炉主体的内面； 处理容器内温度传感器，其以与各单位区域相对应的方式被设置在上述处理容器内；以及 控制装置，其根据来自与各单位区域相对应的处理容器内温度传感器的信号来控制与各单位区域相对应的加热部， 其中，上述控制装置具有控制区域的数量多的多控制区域模式以及控制区域的数量少的少控制区域模式，该控制区域由单位区域形成并且该控制区域被分别控制， 上述控制装置在升温和降温时利用控制区域的数量少的少控制区域模式来控制与各控制区域相对应的加热部，在温度稳定时利用控制区域的数量多的多控制区域模式来控制与各控制区域相对应的加热部。7.根据权利要求6所述的热处理装置，其特征在于， 在多控制区域模式中各控制区域由一个单位区域形成，上述控制装置根据来自与该单位区域相对应的处理容器内温度传感器的信号来控制与该单位区域相对应的加热部，在少控制区域模式中至少一个控制区域由相邻的多个单位区域形成，上述控制装置根据来自与多个单位区域中的期望的单位区域相对应的处理容器内温度传感器的信号来控制与多个单位区域相对应的加热部。8.根据权利要求6所述的热处理装置，其特征在于， 上述控制装置根据在多控制区域模式中预先内置的多控制区域用数值模型来控制与各控制区域相对应的加热部，根据在少控制区域模式中预先内置的少控制区域用数值模型来控制与各控制区域相对应的加热部。9.根据权利要求6所述的热处理装置，其特征在于， 在上述炉主体上连接鼓风机并且在上述炉主体上设置排气管，该鼓风机通过冷却介质提供管线向上述炉主体与上述处理容器之间的空间内提供冷却介质， 上述控制装置根据来自与各单位区域相对应的处理容器内温度传感器的信号来控制与各该单位区域相对应的加热部并且控制上述鼓风机。10.根据权利要求9所述的热处理装置，其特征在于， 上述控制装置在升温和降温时利用少控制区域模式来控制与各控制区域相对应的加热部并且控制上述鼓风机。11.一种热处理装置的控...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉井弘治，山口达也，王文凌，斋藤孝规，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：