本发明专利技术提供不使用调整夹具就能够进行搬送位置调整的基板搬送装置的位置调整方法。本发明专利技术提供基板搬送装置的位置调整方法，其包括：第一检测步骤，利用搬送基板的基板搬送部保持基板，检测基板的位置；将由基板搬送部保持的基板向保持并旋转基板的基板旋转部搬送的步骤；利用基板旋转部使由基板旋转部保持的基板仅仅旋转规定的角度的步骤；从基板搬送部接收被基板旋转部旋转的基板的步骤；第二检测步骤，检测基板搬送部接收的该基板的位置；基于在第一检测步骤求出的基板的位置和在第二检测步骤求出的基板的位置，掌握基板旋转部的旋转中心位置的步骤；和基于掌握的旋转中心位置，调整基板搬送部的位置的步骤。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及搬送基板的基板搬送装置的位置调整方法以及基板处理装置。
技术介绍
在半导体装置和平板显示器(FPD :Flat Panel Display)的制造工序中，使用具有多个处理模块和分别相对这些处理模块搬入搬出基板的基板搬送装置的基板处理装置。在这样的基板处理装置中，利用基板搬送装置向多个处理模块依次搬送基板，进行与处理模块对应的规定的处理。此时，例如当未将基板置于处理模块内的适当的位置时，存在在基板整个面不能进行均一的处理的问题。因此，基板搬送装置构成为能够发挥较高的搬送精度，但为了在适当的位置放置基板，不能缺少搬送位置调整。作为基板搬送装置的搬送位置调整，例如有时利用基板搬送装置搬送搭载有照相 机或传感器等的检测器的调整夹具(adjusting jig)，基于检测器检测到的位置求出与规定的基准位置的偏移，进行修正该偏移的操作(指点操作)(例如专利文献I和2)。现有技术文献专利文献I :日本特开2009-54665号公报专利文献2 日本特开2008-109027号公报
技术实现思路
专利技术想要解决的问题但是，在使用调整夹具的情况下，当不以相应的频率进行调整夹具的检查和校正时，存在由于调整夹具自身导致的调整误差的问题。另外，当调整夹具的安装存在失误时，有时不能进行适当的搬送位置调整。还有，调整夹具比较昂贵，并且需要相应于位于基板的搬送目的地的处理模块的形状等准备多个调整夹具，因此搬送位置调整有时需要相当大的费用。因此，期望以不使用调整夹具的方式进行基板搬送装置的位置调整。所以，本专利技术提供不使用调整夹具就能够进行搬送位置调整的基板搬送装置的位置调整方法和基板处理装置。用于解决问题的方法根据本专利技术的第一方面，提供一种基板搬送装置的位置调整方法，包括第一检测步骤，在基板搬送装置中，利用基板搬送装置的基板保持部保持基板，检测该基板的第一位置；将由上述基板保持部保持的上述基板向保持并旋转基板的基板旋转部搬送的步骤；利用上述基板旋转部使保持于上述基板旋转部的上述基板仅仅旋转规定的角度的步骤；从上述基板旋转部接收被上述基板旋转部旋转的上述基板的步骤；第二检测步骤，检测上述基板保持部接收的该基板的第二位置；基于上述第一位置和上述第二位置，掌握上述基板旋转部的旋转中心位置的步骤；和基于上述掌握的上述旋转中心位置，调整上述基板保持部的位置的步骤。根据本专利技术的第二方面，提供一种基板处理装置，其具有保持并搬送基板的基板保持部；位置检测部，检测与上述基板保持部相对设置，由上述基板保持部保持的上述基板的位置；基板旋转部，能够在与上述基板保持部之间进行上述基板的交接，保持并旋转上述基板；和控制部，构成为利用上述位置检测部求出由上述基板保持部保持的上述基板的第一位置、和上述基板被交接到上述基板旋转部并被旋转规定的角度、由上述基板保持部接收的上述基板的第二位置，基于上述第一位置和上述第二位置掌握上述基板旋转部的旋转中心位置，基于掌握的上述旋转中心位置调整上述基板保持部的位置。根据本专利技术的第三方面，提供一种基板处理装置，具有基板载置部，载置由基板搬送装置的基板保持部搬送的基板；和与由上述基板保持部搬送的上述基板的外边缘部接触，能够保持该基板的至少三个基板支承部件，上述至少三个基板支承部件配置为，由上述至少三个基板支承部件保持的上述基板的位置与上述基板载置部中的上述基板的适当位置对应。根据本专利技术的第四方面，提供一种位置调整方法，具有基板载置部，载置由基板 搬送装置的基板保持部搬送的基板；和与由上述基板保持部搬送的上述基板的外边缘部接触，能够保持该基板的至少三个基板支承部件，上述至少三个基板支承部件配置为，由上述至少三个基板支承部件保持的上述基板的位置与上述基板载置部中的上述基板的适当位置对应，上述基板搬送装置的位置调整方法的特征在于，具有由上述基板保持部搬送上述基板，使上述基板保持于上述至少三个基板支承部件的步骤；从上述基板保持部接收由上述至少三个基板支承部件保持的上述基板的步骤；和检测接收的上述基板的位置的步骤，基于检测的上述基板的位置，调整上述基板保持部的位置。根据本专利技术的第五方面，提供一种基板搬送装置的位置调整方法，包含利用基板搬送装置的基板保持部支承基板的步骤；使保持上述基板的上述基板保持部，从应载置上述基板的基板载置部的上方，向该基板载置部仅仅下降规定的距离，利用设置于上述基板保持部的基板检测部来检测有无上述基板的步骤；当在上述检测的步骤中判定具有上述基板时，重复上述检测步骤的步骤；和当在上述检测的步骤中判定没有上述基板时，将该时刻的上述基板保持部的位置设定为上述基板保持部的上下方向的基准位置的步骤。根据本专利技术的第六方面，提供一种基板搬送装置的位置调整方法，包含使支承基板的背面中央部的背面支承部支承基板的步骤；使基板搬送装置的基板保持部进入被上述背面支承部支承的基板的下方的步骤；使上述基板保持部朝向上述基板仅仅上升规定的距离，利用设置于上述基板保持部的基板检测部检测有无上述基板的步骤；当在上述检测的步骤中判定没有上述基板时，重复上述检测步骤的步骤；和当在上述检测的步骤中判定具有上述基板时，将该时刻中的上述基板保持部的位置设定为上述基板保持部的上下方向的基准位置的步骤。专利技术效果采用本专利技术的实施方式，提供不使用调整夹具就能够进行搬送位置调整的基板搬送装置的位置调整方法和基板处理装置。附图说明图I是表示本专利技术的实施方式涉及的光致抗蚀剂涂布显影装置的结构的俯视图。图2是表示本专利技术的实施方式涉及的光致抗蚀剂涂布显影装置的结构的概略立体图。图3是本专利技术的实施方式涉及的光致抗蚀剂涂布显影装置的结构的侧面图。图4是表示从图I至图3所示的光致抗蚀剂涂布显影装置中的第三区块的结构的立体图。图5是表示图4所示的第三区块中的涂布模块的概略侧面图。图6是表示图4所示的第三区块中的热处理模块的说明图。图7是表示图4所示的第三区块中的搬送臂的立体图。图8是表示图7所示的搬送臂的俯视图和侧面图。图9是图7和图8所示的搬送臂的叉的放大俯视图。图10是表示从图I至图3所示的光致抗蚀剂涂布显影装置的控制部的结构的说明图。图11是表示图10所示的控制部与图6和图7所示的热处理模块部和搬送臂之间关系的说明图。图12是说明本专利技术的实施方式的搬送位置调整方法的图。图13是说明本专利技术的其它的实施方式的搬送位置调整方法的图。图14是说明本专利技术的其它的实施方式的搬送位置调整方法中的基板位置检测方法的图。图15是说明本专利技术的其它的实施方式的搬送位置调整方法中的他的基板位置检测方法的图。图16是说明本专利技术的又一个实施方式的搬送位置调整方法中的基板位置检测方法的图。图17是接着图16，说明本专利技术的又一个实施方式的搬送位置调整方法中的基板位置检测方法的图。图18是接着图17，说明本专利技术的又一个实施方式的搬送位置调整方法中的基板位置检测方法的图。具体实施例方式以下，参照附图对本专利技术的非限定的例示的实施方式进行说明。在附图的全部的图中，对同一或者对应的部件或零件，附加同一或者对应的参照符号，省略重复的说明。(涂布显影装置)首先，参照图I至图4说明本专利技术的实施方式的涂布显影装置。如图I和图2所示，在涂布显影装置100以如下顺序设置有载体站SI、处理站S2和接口站S3。另外，涂布显本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
2011.03.02 JP 2011-0456651.一种基板搬送装置的位置调整方法，其特征在于，包括 第一检测步骤，利用基板搬送装置的基板保持部保持基板，并对该基板的第一位置进行检测； 将由所述基板保持部保持的所述基板向保持并旋转基板的基板旋转部搬送的步骤； 通过所述基板旋转部使保持于所述基板旋转部的所述基板仅旋转规定角度的步骤； 从所述基板旋转部接收被所述基板旋转部旋转后的所述基板的步骤； 第二检测步骤，对所述基板保持部接收的该基板的第二位置进行检测； 根据所述第一位置和所述第二位置，掌握所述基板旋转部的旋转中心位置的步骤；和 根据所述掌握的所述旋转中心位置，对所述基板保持部的位置进行调整的步骤。2.如权利要求I所述的位置调整方法，其特征在于 在所述第一检测步骤和所述第二检测步骤中，利用相对于所述基板保持部设置的位置检测部求出所述基板的中心位置， 在所述旋转的步骤中，所述基板被旋转180°， 在掌握所述旋转中心位置的步骤中，根据在所述第一检测步骤求出的所述基板的中心位置与在所述第二检测步骤求出的所述基板的中心位置的中点，掌握所述旋转中心位置。3.一种基板处理装置，其特征在于，包括 保持并搬送基板的基板保持部； 位置检测部，与所述基板保持部相对设置，对由所述基板保持部保持的所述基板的位置进行检测； 基板旋转部，能够在与所述基板保持部之间进行所述基板的交接，保持并旋转所述基板；和 控制部，通过所述位置检测部求出由所述基板保持部保持的所述基板的第一位置，和所述基板被交接到所述基板旋转部并被旋转规定的角度、再由所述基板保持部接收的所述基板的第二位置，根据所述第一位置和所述第二位置来掌握所述基板旋转部的旋转中心位置，根据掌握的所述旋转中心位置来调整所述基板保持部的位置。4.如权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于 所述规定的角度为180°，根据所述第一位置与所述第二位置的中点掌握所述旋转中心位置。5.一种基板处理装置，其特征在于，包括 基板载置部，载置由基板搬送装置的基板保持部所搬送的基板；和与由所述基板保持部搬送的所述基板的外边缘部接触，能够保持该基板的至少三个基板支承部件，其中， 所述至少三个基板支承部件配置为由所述至少三个基板支承部件保持的所述基板的位置与所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：道木裕一，林德太郎，饭田成昭，榎木田卓，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：
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