液滴涂布装置制造方法及图纸

一种液滴涂布装置，包括：具有供基板（１０）进行载放的载放面（１１ａ）的基座（１１）、以可相对于基座（１１）沿箭头Ａ方向移动的形态安装在基座（１１）上的臂部（４）、以及以可沿箭头Ｂ方向移动的形态安装在上述臂部（４）上并朝载放在上述载放面（１１ａ）上的上述基板（１０）排出液滴的多个液滴排出部（６）。上述液滴排出部（６）安装在上述臂部（４）的第一横梁部（４１）的安装面（４１ｂ）以及上述臂部（４）的第二横梁部（４２）的安装面（４２ｂ）上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种通过喷墨方式等在基板上涂布液滴的液滴涂布装置。
技术介绍
近年来，喷墨技术不仅被应用于在纸媒介上形成图像的打印装置，也期待被应用于制造装置。例如，在日本专利特开2003-191462号公报中，作为液晶 显示器、有机电致发光显示器、等离子显示器、电子发射元件、电泳显示装 置等的制造装置，公开了一种装设有喷墨式液滴排出元件的装置结构。在 日本专利特开2003-191462号公报所述的技术中，为了提高朝基板的命中 位置精度，将装置基体做成石平台，并将朝同一个方向输送基板的平台以 及使喷墨头在与平台前进方向正交的方向上移动的滑架机构分别直接连结 设置在石平台上。在喷墨式的通用打印机中，通常使用一个喷墨头单元来形成图像，在该喷 墨头单元中，作为使液滴排出的元件，针对每种颜色分别装设有几个喷嘴孔以 150 300个喷嘴/英寸的间隔规则排列且宽度为1/2 2英寸的喷墨头元件。作 为方法，通过一边用送纸滚筒输送记录纸一边在与记录纸的输送方向正交的方 向上对其进行多次扫描，在记录纸上形成图像。在将喷墨方式作为制造装置使用时，喷墨头元件与通用打印机用的元件相 当，目前，喷嘴列方向的尺寸最多为1 2英寸左右。另一方面，液晶显示器、有机电致发光显示器、等离子显示器、电子发 射元件、电泳显示装置的制造工序具有使用大面积基板来增加产量(曰文-採"数)、从而降低成本并縮短生产节拍的倾向，为了利用喷墨方式来制造它 们，需要可应对一边长达数m的大面积基板的装置。作为可高速地对大面积基板进行处理的采用了喷墨方式的制造装置，有一种将多个喷墨头元件排列成基板尺寸以上长度的喷墨头排列方式(日文，< y八、乂 K方式)。该方式将宽度最多为1 2英寸的喷墨头元件交错地(曰文: 千鳥状)排列成基板尺寸的长度，若基板尺寸为数m，则需要排列至少100 200个喷墨头。在需要对滤色片基板那样的基板的整个面进行排出且排出部位有规律时，采用该方式的装置可以说极为有效。然而，该喷墨头排列方式不适用于例如日本专利特开2003-66218号公报 所公开的滤色片基板的修复方法。在日本专利特开2003-66218号公报所述的 技术中，作为滤色片基板的制造方法的一部分，当滤色片基板上存在着色不良 部分时，仅对不良部位排出滤色片材料。若使用喷墨头排列方式来作为对散布 在这种滤色片基板上的不良部位进行修正的装置，则需要与在基板的整个面上 排出液滴相同的处理时间，而且，会出现几乎不进行排出的不动作喷墨头，容 易发生喷嘴堵塞。此外，还需要对所有喷嘴进行维护动作，导致无用的废液增 加。另外，在欲使排出量变得均匀时，若采用喷墨头排列方式，则尽管只是对 散布的期望部位排出液滴，也仍然需要对总共达数千个的喷嘴逐一进行排出量 修正，效率极低。另外，在使通用打印机常用的喷墨头单元在同一个平面上多次往复的方式 中，不仅喷墨头单元的扫描距离增加，而且在稳定动作方面，扫描速度也存在 极限，无法縮短处理时间。另外，以后，不只是滤色片的修复，在各种制造领域内仍然会存在欲使液 滴高效地朝期望部位、而不只是朝大面积基板上的整个面排出的要求。另外，在将喷墨方式作为制造装置使用时，随着滤色片基板的大面积化， 需要将横穿基板上方并保持喷墨头的保持部件加长至2m 4m。但是，由于长条 保持部件很难高精度地制造，无法获得高精度的保持部件，因此，液滴在基板 上的命中位置的精度可能会变差。专利技术的公开专利技术所要解决的技术问题本专利技术的目的在于提供一种可高效地在上述基板的(着色不良部分等)规定部分上涂布液滴、并可提高液滴在上述基板上的命中位置的精度的液 滴涂布装置。解决技术问题所采用的技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术的液滴涂布装置，其特征在于，包括基 座，该基座具有供基板进行载放的载放面；横梁部，该横梁部与上述载放面相 对，沿上述载放面的一个方向延伸，并以可沿上述载放面的另一个方向相对于 上述基座相对移动的形态安装在上述基座上；以及多个液滴排出部，该多个液 滴排出部以可沿上述一个方向移动的形态安装在上述横梁部上，并朝上述基板 排出液滴进行涂布，上述横梁部具有沿上述一个方向延伸的多个平面，上述液 滴排出部安装在上述多个平面中的一个平面上。采用本专利技术的液滴涂布装置，由于包括可相对于上述基座相对移动的横梁 部以及可移动地安装在该横梁部上的多个液滴排出部，因此，在利用上述液 滴排出部对上述基板的(着色不良部分等)规定部分涂布液滴时，可使上 述横梁部和上述液滴排出部移动来涂布液滴，可高效地对上述基板的规定 部分涂布液滴。另外，可使所需的上述液滴排出部的数量成为最少，减少不动作的上 述液滴排出部的数量。因此，可防止上述液滴排出部因液滴而堵塞，减少 在上述液滴排出部的维护动作中产生的废液的量，并使所有上述液滴排出 部的排出量变得均匀。另外，上述横梁部具有沿上述一个方向延伸的多个平面，上述液滴排 出部安装在上述多个平面中的一个平面上，因此，可容易提高上述一个平 面相对于上述载放面的位置精度，提高上述液滴排出部的液滴在上述基板 上的命中位置的精度。另外，在一实施形态的液滴涂布装置中，上述横梁部沿上述另一个方 向排列设置有多个，上述多个横梁部一体地连结而成为一体，在上述另一 个方向上可相对于上述基座相对移动。采用该实施形态的液滴涂布装置，由于上述横梁部沿上述另一个方向 排列设置有多个，因此可增加该装置上能装设的上述液滴排出部的数量，縮短上述基板的处理时间。另外，上述多个横梁部一体地连接而成为一体，可在上述另一个方向 上相对于上述基座相对移动，因此，可减少使上述横梁部和上述基座相对 移动的移动机构的数量。此外，还可防止上述多个横梁部单独地相对于上 述基座相对移动时产生的振动(共振)，防止液滴的命中位置因该振动而 偏移。另外，在一实施形态的液滴涂布装置中，具有摄像体，该摄像体配置 在相邻的上述横梁部之间，安装在上述相邻横梁部中的至少一个上述横梁 部上，并对载放在上述载放面上的上述基板进行拍摄。在此，上述摄像体例如为了调整上述基板在上述载放面上的的姿势而 对上述基板进行拍摄，为了修正朝上述基板的命中位置而对上述基板进行 拍摄，或者为了观察上述基板的命中状况而对上述基板进行拍摄。采用该实施形态的液滴涂布装置，由于在上述相邻的横梁部之间具有 安装在上述横梁部上的上述摄像体，因此，可将上述摄像体配置在上述相 邻横梁部之间的死角内，且无需另行设置安装上述摄像体的横梁部，可实 现装置的小型化。另外，在一实施形态的液滴涂布装置中，上述横梁部沿上述另一个方 向排列设置有两个，上述两个横梁部分别具有沿上述一个方向延伸且彼此 朝向上述另一个方向的相反侧的两个平面，上述液滴排出部安装在处于一 个横梁部的与另一个横梁部相对的平面的相反侧的平面、以及处于上述另 一个横梁部的与上述一个横梁部相对的平面的相反侧的平面上。采用该实施形态的液滴涂布装置，由于上述液滴排出部安装在处于上 述一个横梁部的与上述另一个横梁部相对的平面的相反侧的平面以及处于 上述另一个横梁部的与上述一个横梁部相对的平面的相反侧的平面上，因 此，上述液滴排出部安装在被连结成一体的上述两个横梁部的上述另一个 方向外侧的平面上。因此，容易从上述两个横梁部的外侧进行上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液滴涂布装置，其特征在于，包括：　基座，该基座具有供基板进行载放的载放面；　横梁部，该横梁部与所述载放面相对，沿所述载放面的一个方向延伸，并以可沿所述载放面的另一个方向相对于所述基座相对移动的形态安装在所述基座上；以及　 　多个液滴排出部，该多个液滴排出部以可沿所述一个方向移动的形态安装在所述横梁部上，并朝所述基板排出液滴进行涂布，　所述横梁部具有沿所述一个方向延伸的多个平面，　所述液滴排出部安装在所述多个平面中的一个平面上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：中岛吉纪，樋口馨，田村寿宏，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]