成膜装置制造方法及图纸

从蒸镀头喷射的成膜材料，在被处理基板和处理室或者其他的蒸镀头之间反冲，成膜材料附着于与应被蒸镀的位置不同的部位，或者作为杂质混入来自各成膜材料喷出部的蒸气混合的相邻的膜中。本发明专利技术是一种成膜装置(1)，具有：收纳被处理基板(被处理基板G)的处理室(11)；和向该被处理基板喷出成膜材料的蒸气的成膜材料喷出部(13)，该成膜装置(1)，在处理室(11)的内部具有捕捉部(16、16)，其捕捉从成膜材料喷出部(13)喷出的，被被处理基板(被处理基板G)反冲的成膜材料。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具有向被处理基板喷出成膜材料的蒸气的成膜材料喷出部的成膜装置。
技术介绍
在专利文献I中公开有采用蒸镀法制造有机EL元件的成膜装置。成膜装置具有收纳玻璃基板等的被处理基板的处理室，产生成膜材料的蒸气的蒸气发生部被配置于处理室的外部。在处理室的内部设置有成膜材料喷出部，其通过配管与蒸气发生部连接，并将在蒸气发生部产生的成膜材料的蒸气向玻璃基板喷出。成膜材料喷出部具有并列设置的多个蒸镀头，各蒸镀头各自喷出不同的成膜材料。 现有技术文献专利文献I :国际公开2008/066103号手册
技术实现思路
专利技术想要解决的问题本申请专利技术者，发现如下问题从蒸镀头喷射的成膜材料，在被处理基板和处理室或者其他的蒸镀头之间反冲，成膜材料附着于与应被蒸镀的位置不同的部位，或者从各成膜材料喷出部的蒸气相互混合而作为杂质混入相邻的膜中。其中，专利文献I记载的成膜装置并未公开成膜材料的反冲的问题以及解决该问题的结构。用于解决课题的方法本专利技术涉及的成膜装置，具有收纳被处理基板的处理室；和向该被处理基板喷出成膜材料的蒸气的成膜材料喷出部，该成膜装置的特征在于，包括在上述处理室的内部具有捕捉部，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2011.02.16 JP 2011-0312151.一种成膜装置，具有收纳被处理基板的处理室；和将成膜材料的蒸气向该被处理基板喷出的成膜材料喷出部，该成膜装置的特征在于，包括 在所述处理室的内部具有捕捉部，该捕捉部对从所述成膜材料喷出部喷出并且在所述被处理基板反冲的成膜材料进行捕捉。2.如权利要求I所述的成膜装置，其特征在干 所述捕捉部具有从所述成膜材料喷出部喷出并且在所述被处理基板反冲的成膜材料所进入的多个间隙或孔部。3.如权利要求I或2所述的成膜装置，其特征在于 所述捕捉部具有对置的多个板部。4.如权利要求3所述的成膜装置，其特征在于 具有对所述被处理基板进行支承的支承台， 所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：金子裕是，林辉幸，小野裕司，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：