一种用于声表面波器件的氧化锌压电薄膜及其制备方法技术

一种用于声表面波器件的氧化锌压电薄膜，为在单晶硅基片衬底上制备的氧化锌/铝/类金刚石复合膜结构，其制备方法是：将表面清洗干净的单晶硅基片放入脉冲激光系统的真空生长腔中，以石墨、铝为靶材，沉积类金刚石/铝薄膜；然后以氧化锌为靶材，采用射频磁控溅射工艺，在Al膜表面沉积氧化锌薄膜。本发明专利技术的优点是：制备工艺简单易行，成本低廉；所制备的类金刚石薄膜表面光滑平整，可大大降低声波在传输过程中的损耗，沉积的Al薄膜大大提高了氧化锌薄膜的机电耦合系数，氧化锌薄膜结晶度高，c-轴取向高，该ZnO/Al/DLC复合薄膜结构可用于制作高性能，高频和大功率器件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及声表面波器件
，特别是。
技术介绍
近年来，移动通信的飞速发展，使得无线电通信频带成为一个有限而宝贵的自然资源。对于移动通信系统，低于IGHz的频带已被占满(第一代数字系统)；第二代数字系统的频率从900MHz到I. 9GHz ;在第三代数字系统中，全球漫游频率范围为I. 8 2. 2GHz， 卫星定位系统(GPS)频率为I. 575GHz，低地球轨道新卫星通信(LEO)的应用频率范围为I.6GHz 2. 5GHz,因此，目前的移动通信系统的应用频率越来越高，急需高频的声表面波 (SAW)滤波器，而且，移动通动通信装置都要求声表面波SAW滤波器尽量小型化以及具有较大的功率承受能力。对于叉指换能器/ΖηΟ/Al/类金刚石复合结构的声表面波器件，在现有制作工艺水平的前提下，叉指换能器宽度不能无限制的微细化。因而选择高弹性模量，低密度，高热导率的衬底材料成为提高薄膜声表面波器件性能和寿命的主要途径。金刚石具有最高的硬度和弹性模量，室温下极高的热导率和电阻率，最高的声速。但由于通常制备的金刚石薄膜表面比较粗糙，不利于叉指换能器的制备，会引起声表面波的散射，产生能量损耗，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈希明，张倩，阴聚乾，朱宇清，李福龙，郭燕，孙连婕，
申请(专利权)人：天津理工大学，
类型：发明
国别省市：