光组件以及光分析装置制造方法及图纸

技术编号:7628629 阅读:151 留言:0更新日期:2012-08-01 22:26
本发明专利技术提供一种光组件以及光分析装置。其中,测色传感器具备:标准具、接收透过了标准具的检查对象光的光接收元件、以及保持标准具的保持部件。该标准具包括:第一基板、与第一基板相对的第二基板、设置在第一基板的与第二基板相对的面上的固定反射镜、以及设置在第二基板上且隔着规定的间隙与固定反射镜相对的可动反射镜。标准具在观察基板厚度方向的俯视图中具备第一基板及第二基板相对的光干涉区域、以及从光干涉区域突出的突出区域。保持部件在突出区域的与光干涉区域相反侧的一端侧保持标准具。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具有干涉滤波器的光组件以及具有光组件的光分析装置,该干涉滤波器用于从入射光中取出规定波长的光。
技术介绍
在现有技术中,公知有如下所述的干涉滤波器(标准具etalon),该干涉滤波器分别在一对基板的彼此相对的面上隔着规定的间隙相对配置有多层膜(反射膜)(例如,参照专利文献I)。在专利文献I记载的干涉滤波器中,为了调整间隙,在一对反射膜的彼此相对的面上相对配置有驱动电极,通过向各驱动电极施加驱动电压,从而能够通过静电引力来调整间隙。由此,干涉滤波器能够仅使与该间隙对应的指定波长的光透过。也就是说,干涉滤波器使入射光在一对反射膜之间使光进行多重干涉,并仅使通过多重干涉而彼此增强的指定波长的光透过。但是,上述这样的干涉滤波器一般都安装于光组件或光分析装置来加以使用。图13是表示安装有标准具50的现有的测色装置10(光分析装置)的概略结构的模式图。测色装置10具备光源装置20,用于向检查对象A射出光;以及测色传感器40(光组件),该测色传感器40具有标准具50,用于对检查对象A所反射的检查对象光进行分光;光接收元件420,用于接收透过了标准具50的光;铠装壳40A,收容有与光源装置20及光接收元件420连接的印刷基板410。测色传感器40具备筒状的保持壳310,该保持壳310与光源装置20邻接设置,用于保持标准具50的外周缘。此外,该测色装置10使检查对象A反射从光源装置20射出的光,通过测色传感器40对反射后的检查对象光进行分光,基于从测色传感器40输出的检测信号,根据分光后的各波长的光的光量,分析并测定检查对象光的色度、即检查对象A的颜色。在先技术文献专利文献专利文献I :日本特开平11-142752号公报但是,在如图13所示的现有结构中,保持壳310保持标准具50的与设置有反射膜的部分接近的外周部。在这样的结构中,光源装置20产生的热也会从保持壳310直接传导给标准具50,从而存在基板由于热膨胀而弯曲的担忧。而且,由于是标准具50的与反射膜接近的外周缘被保持壳310保持的结构,所以存在基板由于保持壳310的保持力而弯曲的担忧。如上所述,如果在反射膜上发生弯曲,则存在透过标准具50的光的透过波长会发生偏差,从而导致分辨率下降的问题
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能抑制干涉滤波器的分辨率下降的光组件以及光分析装置。本专利技术的光组件具备干涉滤波器以及保持所述干涉滤波器的保持部件,该干涉滤波器具有第一基板、与上述第一基板相对的第二基板、设置在上述第一基板的与上述第二基板相对的面上的第一反射膜、以及设置在上述第二基板上的隔着规定间隙与上述第一反射膜相对的第二反射膜,上述干涉滤波器在沿基板厚度方向观察的俯视图中,具备设置 有上述第一反射膜及上述第二反射膜的光干涉区域、以及向离开上述光干涉区域的方向突出的突出区域,上述保持部件在上述突出区域的与上述光干涉区域相反侧的一端侧保持上述干涉滤波器。根据本专利技术,干涉滤波器具备第一基板及第二基板相对的光干涉区域、以及从光干涉区域突出的突出区域。并且,保持部件保持突出区域的前端侧(与光干涉区域相反的一侧),以保持干涉滤波器。因此,由于在离开反射膜的位置上由保持部件保持干涉滤波器,所以不会由于保持部件的保持力导致形成在光干涉区域上的反射膜弯曲。并且,例如即使在由光源装置等加热了保持部件的情况下,也可以通过突出区域抑制热量传导,且可抑制光干涉部的发热,从而也可降低由于基板、反射膜的发热而引起的弯曲。因此,由于可以防止反射膜的弯曲,从而可以维持干涉滤波器的反射膜间的平行性,且可抑制分辨率的降低。在本专利技术的光组件中,优选上述第一基板及上述第二基板形成为相同形状,上述干涉滤波器具备与上述第一基板及上述第二基板中的任一个结合的支承基板,上述突出区域设置在上述支承基板上。根据本专利技术,干涉滤波器构成为除了具有形成有反射膜的第一基板及第二基板以夕卜,还具备具有突出区域的支承基板。并且,保持部件保持支承基板的突出区域,从而保持干涉滤波器,因此,可以通过第一基板及第二基板不弯曲的方式来进行保持。并且,例如即使在保持部件上被传导有热量的情况下,也可在突出区域抑制热量的传导,且由于设置有光干涉区域的第一基板及第二基板与支承部件是不同的基板,所以可以进一步可靠地抑制热量的传导。在本专利技术的光组件中,可以是上述突出区域设置在上述第一基板及上述第二基板中的至少任一个上的结构。在本专利技术中,在第一基板及第二基板中的至少任一个上设置有突出区域。在这样的结构中,由于无需设置用于设置突出区域的其他部件、即支承基板,所以可以进一步简化结构。在本专利技术的光组件中,优选在上述突出区域上设置有用于吸收振动的振动吸收部。这里,作为振动吸收部,例如只要是将突出区域的一部分的宽度尺寸、厚度尺寸形成得比其他部分小,设置结构上比其他部分薄弱的部分来形成振动吸收部即可。根据本专利技术,由于在突出区域上设置有振动吸收部,所以当从外部接收到振动时,通过振动吸收部吸收振动,从而可以抑制向干涉滤波器的光干涉区域传递振动。因此,可以防止由于来自外部的振动导致干涉滤波器的反射膜间的间隙变动。本专利技术的光分析装置是具备上述光组件的光分析装置,其中,上述光组件具备用于接收通过上述干涉滤波器提取的检查对象光的光接收部,该光分析装置具备分析处理部,该分析处理部根据通过上述光接收部接收到的上述检查对象光的光量,分析上述检查对象光的光特性。根据本专利技术,由于光分析装置具备上述光组件,所以可以抑制分辨率的降低,能够通过光接收部实施高精度的光量的测定,通过基于该测定结果实施光分析处理,可以实施正确的分光特性。附图说明 图I是表示与本专利技术相关的第一实施方式的测色装置的概略结构的模式图。图2是表示上述第一实施方式的测色传感器的立体图。图3是上述第一实施方式的测色传感器的分解立体图。图4是上述第一实施方式的标准具的第一基板的俯视图。图5是上述第一实施方式的标准具的第二基板的俯视图。图6是上述第一实施方式的标准具的概略截面图。图7是与本专利技术相关的第二实施方式的标准具的第一基板的俯视图。图8是上述第二实施方式的标准具的中介层(interposer)的俯视图。图9是与本专利技术相关的第三实施方式的标准具的第一基板的俯视图。图10是上述第三实施方式的第一变形例的标准具的第一基板的俯视图。图11是上述第三实施方式的第二变形例的标准具的部分截面图。图12是表示与本专利技术相关的变形例的测色传感器的主要部分的俯视图及截面图。图13是表示现有的测色装置的概略结构的模式图。具体实施例方式第一实施方式下面,根据附图对与本专利技术相关的第一实施方式进行说明。I.测色装置的概略结构图I是表示本实施方式的测色装置I (光分析装置)的概略结构的模式图。如图I所示,测色装置I具备光源装置2,用于对检查对象A射出光;凹面透镜3,将由检查对象A所反射的反射光(检查对象光)引导向后述的测色传感器4;测色传感器4 (光组件),具有标准具5 (干涉滤波器);以及控制装置6,用于控制测色装置I的整体动作。并且,该测色装置I是如下所述的装置使检查对象A反射从光源装置2射出的光,由测色传感器4接收所反射的检查对象光,基于从测色传感器4输出的检测信号,分析并测定检查对象光的色度、即检查对象A的颜色。2.光源装置的结构本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:野泽武史
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:

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