【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于精密测量
，特别涉及一种大口径光学非球面元件的接触式测量方法。
技术介绍
空间光学中的大型空间望远镜采用二次非球面反射镜，激光核聚变中高功率激光装置采用多片非球面，空间相机、航天遥感、大口径夜视仪等都采用高精度大口径非球面元件，随着空间技术和国防技术的提高，大口径非球面元件需要量越来越大。大批量、高效率， 高精度的制造光学非球面元件就需要高精度的测量来指导加工过程，随之而来，测量过程就要效率高、精度高以及误差评定方法可靠快速。非球面的测量技术一直制约非球面应用发展，对于铣磨加工后的非球面元件无法采用非接触式的测量方法，因为面形精度不能满足干涉测量的要求，因此测量都是采用接触式的测量方法。大口径非球面的接触式测量主要有三坐标测量和拼接测量技术，三坐标测量仪的误差源多，测量精度低，高精度的三坐标测量仪价格昂贵，国外对大口径非球面测量主要有德国Ieitz三坐标测量仪CMM ;拼接测量采用增加第三环节进行测量，再对测量数据进行分析处理，这样得到的测量结果精确度不闻。针对超精度形状测量仪-柱坐标测量仪开发了高效、高精度的测量方法和快速找中方法，实现大口...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵惠英，席建普，李志强，赵则祥，杨和清，陈伟，娄云鸽，李彬，任东旭，陈健龙，张楚鹏，刘孟奇，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：
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