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一种用厚膜介质作为隔离子的场致发射显示结构制造技术

技术编号:7617097 阅读:236 留言:0更新日期:2012-07-28 16:36
本发明专利技术提供了一种用厚膜介质作为隔离子的场致发射显示结构及其制作方法,场致发射显示结构由阴极基板和阳极基板组成,所述的阴极基板和阳极基板之间设有厚膜介质隔离子,隔离子设置于阴极基板的玻璃基底上,隔离子与玻璃基底牢固粘在一起成一整体。隔离子在水平方向和竖直方向上均匀间隔排列,在水平和竖直方向上相邻隔离子之间的距离均为10-50mm。所述的场致发射显示结构有二极结构、三极结构和多极结构。本发明专利技术可以实现场致发射显示结构所用的隔离子图形化,避免了制作隔离子时的复杂安装工艺,解决了隔离子放置存在对位不准的问题,并且使原来分立的隔离子装配问题得到了解决,降低工艺难度,增加器件性能的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及场致发射显示器技术,尤其涉及一种用厚膜介质作为隔离子的场致发射显示结构及其制作方法。
技术介绍
场致发射显示器(Field emission display, FED)是真空技术与微电子技术相结合的产物,它是由阳极基板和阴极基板组成,阳极和阴极基板之间由隔离子支撑,两基板之间的空间为真空,其工作原理是靠很强的外部电场来压抑物体表面的势垒,使势垒高度降低,宽度变窄,当势垒的宽度窄到可以同电子的波长相比拟时,电子通过隧道效应穿透势垒逸入真空而轰击阳极荧光粉发光。由于它的工作原理和常用的CRT显示器类似,被称为扁平式的CRT,既保留了 CRT的高色饱和度、高亮度等优点,又克服了 CRT体积大,有辐射等缺点,所以FED显示技术一旦成熟将会取代IXD成为下一代主流显示技术。然而,场致发射显示器的制造还存在着一些难以解决的问题,如隔离子所用材料的选择、隔离子的制作和固定就是其中极为关键的技术。普通的场致发射显示器,是利用玻璃、光纤或者一些绝缘材料直接排列在阴极基板上作为阴极和阳极基板之间的隔离柱,这样会使得器件的制作过程较为复杂,隔离子的对准也存在一定的难度,而且放置后的隔离子容本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张永爱郭太良周雄图叶芸胡利勤曾祥耀
申请(专利权)人:福州大学
类型:发明
国别省市:

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