一种光学元件面形误差的高精度测试装置及方法制造方法及图纸

一种光学元件面形误差的高精度测试装置和方法，涉及光学测试技术领域，该装置成本低廉，能够快速简便的进行测量和对自身的测量误差进行校准，测量精度高，对测量环境的要求相对宽松。该装置和方法将相位复原方法和点衍射干涉仪的原理融合在一起。采用小孔为测试装置产生理想球面波，对光学面形误差进行高精度测试。该测试装置和方法具有两部分功能，既能够对光学元件的面形误差进行测试，又能对测试装置进行高精度校准。本发明专利技术具有低成本、高精度的特点，适合于光学成像系统的生产企业、科研和检测单位使用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光学测试
，具体涉及一种光学元件面形误差的高精度测试方法。
技术介绍
对光学元件面形误差的精密检测通常使用干涉测量的方法，长时间使用干涉仪进行测量需要对干涉仪的测量误差进行校准，而对干涉仪的校准操作十分繁琐而且价格昂贵，对测试环境的要求也十分高。应用相位复原的方法对光学元件面形进行检测正在被广泛的开展研究。Augustus J. E. M Janssen将Nijboer-Zernike理论进行了扩展,得到了 Extended Nijboer-Zernike (ENZ)理论,使之能够应用于离焦情况下的光学点扩散函数的计算° Joseph J. M. Braat, PeterDirksen, Augustus J. E. M Janssen, Arthur S. van de Nes 考虑了偏振和高数值孔径情况下Extended Nijboer-Zernike的计算。利用这种Extended Nijboer-Zernike (ENZ)理论进行相位复原具有很高的精度。同时根据点衍射干涉仪的原理，当单色光光束照明极小的小孔时，可以衍射产生理想的球面波，这样就为利用相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：马冬梅，邵晶，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：