水热-电化学法制备金刚石膜制造技术

技术编号：7616196 阅读：277 留言：0更新日期：2012-07-28 14:06

一种水热-电化学法制备金刚石膜，属于表面镀膜的技术领域。其特征是选用乙酸为碳源，提供金刚石膜生长需要的甲基。将乙酸稀释在去离子水中，利用去离子水中的氢和氧抑制石墨相的生长。本发明专利技术中的实验装置是将用于水热合成的反应釜进行了改进，引入电极。反应过程中溶液处于高温高压的状态，满足金刚石膜生长需要的衬底高温条件，又利用双向脉冲高电压分解乙酸和去离子水，提供金刚石膜生长所需要的甲基，氢和氧的活性粒子。本发明专利技术的效果和益处是：相对于传统的气相法而言，液相法容易实现大面积和在复杂工件表面生长金刚石膜，且生长速率快。实验中试剂无毒且价格便宜，无需复杂的真空系统。