彩色滤光片制造工艺中的显影排液的处理方法技术

本发明专利技术提供一种彩色滤光片制造工艺中的显影排液的处理方法，其特征在于，具有将该显影排液加热到50℃以上的加热工序和将该显影排液的pH值调整到7以下的pH值调整工序，在将显影排液进行加热以及在pH值调整后的状态下，进行固液分离。其能够对彩色滤光片制造工艺中的显影排液以良好的凝聚过滤性和操作运转的稳定性进行处理。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
至今为止，在彩色滤光片的制造中，利用分散了颜料的光阻剂进行光刻的图案形成法，即彩色光阻剂法为人们所知。而且，在彩色滤光片制造工艺中的彩色光阻剂显影过程中，一般使用含有颜料、碱溶性树脂(碱溶性聚合物)、光聚合成分(单体)以及光聚合引发剂、分散剂、溶剂等的彩色光阻剂液。例如，彩色滤光片处理过程的一般制作方法包括(例如参照非专利文献I):在基板上形成黑色矩阵(BM)后，将该彩色光阻剂液(例如红色系)涂布在形成了 BM的基板上而形成膜的工序；经由光掩膜进行图案曝光后进行UV硬化的曝光工序；用显影液将彩色光阻剂的不要部分除去后，进行所谓烘烤硬化的显影/烘烤工序的膜形成/曝光/显影/烘烤工序，继而使用其它色系的彩色光阻剂液，反复进行该工序，最终形成RGB三色，通过溅射法形成透明导电(ITO)膜。另外，除了在玻璃基板上进行铬蒸镀后通过蚀刻处理来形成图案的方法以外，还有和彩色光阻剂相同地，在使用了黑色颜料的光阻剂液中通过光刻法来形成BM图案的方法。进而，在色分解滤光片中除了 RGB三色以外，还有试图通过扩大色域范围的高性能化的 RGBY四色的滤光片等也已经实现了实用化，也有CMY系等的色分解滤光片。在任何情况下，在这些显影过程中，未曝光部分的彩色光阻剂(未硬化的彩色光阻剂)经由以高浓度的非离子表面活性剂与碱性成分为主体成分的显影液被洗脱。即，此时会发生主要含有未硬化的彩色光阻剂和显影液的彩色滤光片显影排液。可是，作为现有技术的彩色滤光片显影排液的处理方法，例如可以列举凝聚沉淀法或活性炭法。另外，提出了如下方案(专利文献4):在进行光刻法时将基板洗净后，在将含有四烷基化合物和少量光致抗蚀剂的洗净排液的PH值保持在5以上、且不满9的条件下，加压提供到反渗透膜装置的方法。另外，也提出了如下方案(专利文献5):将含有光致抗蚀剂的排液的pH值调整到酸性，然后，将PH值调整到适合于光致抗蚀剂聚集沉淀的碱性，再调整到中性使光致抗蚀剂聚集沉淀，进行膜处理的方法。现有技术文献专利文献专利文献I :日本特开2009-128518号公报专利文献2 :日本特开2010-102346号公报专利文献3 :日本特开2008-246372号公报专利文献4 :日本特开2001-276824号公报专利文献5 日本特开2006-255668号公报非专利文献非专利文献I :最先端彩色滤光片处理技术和化学，责任编辑市村国宏，CMC株式会社出版，2006年4月I日第二版发行，Pl 300
技术实现思路
专利技术要解决的课题在彩色滤光片的显影排液中，富含有多种来源于光致抗蚀剂的颜料或各种化合物、以及来源于显影液的表面活性剂。因此，在该显影排液中，因颜料染色(色度、浊度、外观)、或来源于表面活性剂和光致抗蚀剂的有机物具有非常高的浓度。以该彩色滤光片的显影排液的排放和回收为目的，为了减少这些物质的浓度，通过凝聚沉淀处理将染色成分除去，或通过活性炭处理将有机物除去。可是，由于颜料的分散性非常高，凝聚沉淀处理非常困难(参照后述的实施例〔表 6〕)。另外，由于表面活性剂的浓度非常高，活性炭的消耗量非常大。因此，既有经济上的压力，又有操作运转不稳定的问题。还有，在反渗透膜或NF膜等的膜过滤法中，在对上述颜料处理或表面活性剂处理进行得不充分的状态下，由于产生膜的闭塞，不能实现稳定操作运转。由此，本专利技术的目的在于提供一种处理方法，其能够从滤光片的显影排液中，有效地将彩色光阻剂和表面活性剂分离除去，能够改善操作运转的稳定性和经济性。解决课题的方法本专利技术人为了解决上述课题，进行深入研究的结果发现，如果对彩色滤光片显影排液在加热到指定温度以上的状态、且使PH值调整在7以下的状态下，进行固液分离，不但能使分离后处理水中的彩色光阻剂减少，还能减少处理前的彩色滤光片显影排液中含有的表面活性剂或碱溶性聚合物。S卩、本专利技术提供一种滤光片制造工序中的显影排液的处理方法，其特征在于，该方法具有将该显影排液加热到50°C以上的加热工序、和将该将显影排液的pH值调整到7以下的PH值调整工序，在对该显影排液进行加热和在pH值调整后的状态下，进行固液分离。在上述加热工序中，优选将上述显影排液加热到60 100°C，以及/或者在上述 pH值调整工序中，将上述显影排液的pH值调整到2 6的酸性范围内。优选同时使用絮凝剂。优选对上述固液分离后的加热处理水中的热量进行回收，再利用于上述加热工序中的显影排液的加热。根据本专利技术，可使彩色滤光片显影排液，在具有良好的凝聚过滤性和操作运转稳定性的状态下进行处理。附图说明图I表示本专利技术彩色滤光片显影排液的处理方法的流程I和流程2。图2表示本专利技术彩色滤光片显影排液的处理方法的流程3和流程4。图3表示本专利技术彩色滤光片显影排液的处理方法的流程5和流程6。图4表示本专利技术彩色滤光片显影排液的处理方法的流程7。图5表示对彩色滤光片显影排液的pH值进行了调整和加热后的状态。图6表示对彩色滤光片显影排液的pH值进行调整的状态。具体实施例方式下面，参照附图对实施本专利技术的优选方案进行说明。另外，下列说明的实施形态， 只是表示本专利技术代表性的实施形态的一个例子，并不能据此来狭义地解释本专利技术的范围。本专利技术的彩色滤光片制造工序中的显影排液(以下称“彩色滤光片显影排液”或 “显影排液”)的处理方法是具有将彩色滤光片显影排液加热到50°C以上的加热工序、和将彩色滤光片显影排液的pH值调整到7以下的pH值调整工序、在加热和pH值调整后的状态下，进行固液分离。据此，能得到可使彩色光阻剂和表面活性剂等成分减少的处理水。此时，对上述加热工序和上述pH值调整工序(以下也称“酸化处理工序”)的顺序，不做特别的限定，哪个工序在前都可，另外也可以同时进行。例如可以列举在完成了加热工序后进行PH值调整工序；在完成了 pH值调整后进行加热工序；pH值调整工序和加热工序同时进行等。另外，在上述工序以外，也可适当包括进行其它工序，或在上述工序之间也可含有其它工序。上述加热工序，将彩色滤光片显影排液加热到50°C以上。如后述实施例所示的那样，在温度未达到50°C的情况下，即使进行酸处理，彩色光阻剂和表面活性剂(特别是非离子性表面活性剂)也不能一起沉淀，故不能充分减少上述彩色光阻剂和表面活性剂。对此，如果加热到50°C以上，由于上述彩色光阻剂和表面活性剂能一起沉淀，因此优选。该显影排液的加热温度优选设定为50 100°C，较优选设定为60 99°C，更优选设定为70 95°C，从经济性和性能稳定的角度来看，特别优选设定为80 85°C。对此时的加热时间，没有特别的限定，优选I分钟左右或更长时间，但根据排液的性状，也可以在配管内进行数秒(3 10秒)左右的反应。并且，在将显影排液加热后，为了提高凝聚过滤性和操作运转稳定性，优选直到固液分离为止，一直维持加热状态。对作为上述加热工序中的加热装置不做特别的限定。适当单独地或组合使用例如热交换器、加热器等加热装置来进行即可。对此时的加热方法不做特别的限定，可以对显影排液直接地以及/或者间接地加热。例如可以列举在显影排液中直接混入蒸汽(饱和蒸汽、过热蒸汽等)；在显影排液中直接配置加热器；使显影排液通过热交换器；在显影排液通过的配管内直接混入蒸汽；加热显影排液本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山田聡，佐藤茂，
申请(专利权)人：栗田工业株式会社，
类型：发明
国别省市：