自动纠正和预测性维护系统技术方案

本文描述了一种用于自动纠正和预测性维护的方法和系统。在一个实施例中，接收与工具相关联的故障通知，其中故障通知指示关于工具的一个或多个故障。获取与工具相关联的维护数据，其中维护数据包括关于工具的一个或多个故障。通过融合故障通知和维护数据来生成最佳时间表。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施例涉及维护系统，并且更具体地涉及自动纠正和预测性维护系统。
技术介绍
消费者所购买的设备可能需要来自设备的卖方的支持。此外，设备需要服务以修理或更换出现故障或不再运转的设备零部件。设备的远程服务和支持具有三个级别的业务升级模式(1)地方级别、O)区域级别和C3)全球级别。地方级别的工程师通常在现场或者非常靠近设备地点。区域级别的工程师通常不在现场并且对特定的设备经验非常丰富。全球级别的工程师通常不在现场并且精通于构成工厂的全部设备。当设备已经出现故障或者存在即将可能发生的设备故障时，处于地方级别的工程师打开问题票据(trouble ticket)。如果地方级别工程师能够解决问题，则地方级别工程师执行必要的纠正动作并关闭问题票据。如果在特定的时间量内、问题没有被地方级别工程师解决，则问题票据自动地从地方级别升级到区域级别。根据升级的时间，问题票据升级到正在运行白班的区域。如果区域级别工程师不能解决问题，则问题升级到全球级别。全球级别工程师可以确定，地方级别工程师必须根据来自全球级别工程师的指示被分派到设备的地点以解决问题。处于区域级别和全球级别的工程师访问由该设备创建的一个或多个日志文件。工程师也可以访问服务器以搜索相似的问题，对于该设备、相似的问题在过去可能已经发生并且被解决。为了调查处于区域和全球级别的问题，必须使用远程能力(诸如对设备计算机、设备日志文件、设备传感器数据等的远程安全访问等)以进行故障排除。然而，由于设备的自定义架构，由设备提供的日志文件根据设备而改变。日志文件的大小以及日志文件中的差异可能减慢在区域和全球级别处的响应。此外，可能在很短的时间内出现用于设备的定期维护的停机时间和用于设备的计划外故障的停工时间，从而造成设备的使用者的不便。在一个示例中，一台设备花费了一个小时来冷却以执行纠正动作、花费了一个小时来执行纠正动作并且花费了一个小时再次升温以执行操作。如果设备的定期维护在第一天进行，则设备将停机三个小时。如果第二天出现了计划外的停工时间，则设备将停机另外三个小时，那么两天内停工共六个小时。附图说明在附图中，以示例的方式并且不以限制的方式描述本专利技术，并且在附图中图1图示了示例性系统，在该示例性系统上可以实现本专利技术的实施例的；图2图示了自动纠正和预测性维护系统以及预先规划系统的实施例；图3A图示了示例性维护数据，该示例性维护数据由根据本专利技术的实施例的自动纠正和预测性维护系统使用；图;3B图示了示例性通知数据，该示例性通知数据由根据本专利技术的实施例的自动纠正和预测性维护系统使用；图4图示了示例性最佳时间表，该示例性最佳时间表由根据本专利技术的实施例的自动纠正和预测性维护系统提供；图5图示了根据本专利技术的实施例的自动纠正和预测性维护方法的流程图；图6图示了根据本专利技术的实施例的最佳时间表生成方法的流程图；图7图示了示例性计算机系统；以及图8图示了示例性用户界面，该示例性用户界面由根据本专利技术的实施例的自动纠正和预测性维护系统提供。具体实施例方式本专利技术的实施例指向用于自动纠正和预测性维护的方法和系统。接收与工具相关联的故障通知。获得与工具相关联的维护数据。通过融合在故障通知中的事件和维护事件来创建用于工具的优化时间表。通过创建用于工具的优化时间表，能够减少工具的全部停工时间。例如，一台设备花费了一个小时来冷却以执行纠正动作、花费了一个小时来执行纠正动作并且花费了一个小时来升温以执行操作。如果工具在第一天具有定期维护并且在第二天有计划外的故障，则工具的全部停工时间将是六个小时。然而，使用最佳时间表，用户将会了解工具必须执行的维护以及即将出现的预测故障。用户可以使用该信息同时进行维护和针对预测故障的修理。利用该信息，工具的全部停工时间将会减小到四个小时(一个小时用于冷却、一个小时用于纠正动作、一个小时用于预测性动作并且一个小时用于升温)。图1图示了示例性系统，在该示例性系统上可以实施本专利技术。系统100包括一个或多个工具110、诊断服务器120、自动纠正和预测性维护系统130、安全服务器140、网络150、支持组系统160、供应商系统170、厂商服务器180以及预先规划系统190。在一个实施例中，工具110可以是制造半导体器件的、运行一个或多个处理的制造工具。在替换实施例中，工具110可以是制造太阳能器件的、运行一个或多个处理的制造工具。诊断服务器120、自动纠正和预测性维护系统130和安全服务器140可以由工厂管理者维持。诊断服务器120可以由任意类型的计算设备承载，任意类型的计算设备包括台式电脑、笔记本电脑、手持电脑或类似的计算设备。自动纠正和预测性维护系统130可以由任意类型的计算设备承载，任意类型的计算设备包括台式电脑、笔记本电脑、手持电脑或类似的计算设备。支持组系统160可以由支持组维持，支持组可以在与工具110、诊断服务器120和自动纠正和预测性维护系统130相同的物理位置或不同的物理位置处。支持组系统160可以由任意类型的计算设备承载，任意类型的计算设备包括台式电脑、笔记本电脑、手持电脑或类似的计算设备。供应商系统170可以由一个或多个工具或者工具的一部分的供应商维持，并且供应商系统170可以在与工具110、诊断服务器120和自动纠正和预测性维护系统130相同的物理位置或不同的物理位置处。供应商系统170可以由任意类型的计算设备承载，任意类型的计算设备包括台式电脑、笔记本电脑、手持电脑或类似的计算设备。厂商服务器180可以由一个或多个工具或者工具的零部件的厂商维持，并且厂商服务器180可以在与工具110、诊断服务器120和自动纠正和预测性维护系统130相同的物理位置或不同的物理位置处。厂商服务器180可以由任意类型的计算设备承载，任意类型的计算设备包括台式电脑、笔记本电脑、手持电脑或类似的计算设备。预先规划系统190可以由任意类型的计算设备承载，任意类型的计算设备包括台式电脑、笔记本电脑、手持电脑或类似的计算设备。工具110、诊断服务器120、自动纠正和预测性维护系统130和安全服务器140经由硬件接口(未示出)或者经由网络(未示出)来通信。安全服务器140可以经由网络150传递到支持组系统160、供应商系统170、厂商服务器180和预先规划系统190。网络150可以是诸如企业内的内部网络等的局域网(LAN)、无线网络、移动通信网络、诸如互联网等广域网(WAN)或者类似的通信系统。网络150可以包括诸如有线和无线设备等任意数目的网络和计算设备。工具110可以将工具110的当前性能特点发送到诊断服务器120和安全服务器140。厂商服务器180可以经由安全服务器140将工具110的模型发送到诊断服务器120。模型可以指定与工具110的正常行为对应的工具110的性能特点。诊断服务器120可以根据工具110的模型生成关于工具110的通知。在一个实施例中，工具110的模型可以由现场工程师来提供或者可以基于现场工程师的知识来生成。在替换实施例中，工具110的模型可以通过在实验室中进行故障的模拟来生成。在另一替换实施例中，工具110的模型可以由工具的厂商来生成，并且工具110的模型可以通过厂商服务器180经由安全服务器140提供到诊断服务器120。在一个实施例中，诊断服务器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：曼珠纳什·S·叶达托尔，蒂帕克·巴哈迪亚，约翰·普莱斯科特，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：