光扫描装置制造方法及图纸

本发明专利技术的光扫描装置具有：对入射的光进行反射的振动镜；与振动镜的一端连结的第一梁部；与振动镜的另一端连结的第二梁部；与第一梁部连结、配置在第一梁部与第一调整部之间、使振动镜摆动的第一驱动部；与第一驱动部连结、通过使第一梁部弹性变形来对第一梁部的弹性系数进行调整的第一调整部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：本田雄士，
申请(专利权)人：日本电气株式会社，
类型：发明
国别省市：