【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及可以作为电绝缘材料、抗蚀剂用树脂、半导体用封装树脂、印刷线路板用粘接剂、装载于电气设备/电子设备/工业设备等中的电层压板的基体树脂、装载于电气设备/电子设备/工业设备等中的预浸料的基体树脂、组装层压板材料、纤维强化塑料用树脂、液晶显示面板的封装用树脂、涂料、各种涂布剂、粘接剂、半导体用的涂布剂或半导体用的抗蚀剂用树脂使用的芳香族烃树脂。另外，本专利技术涉及在用于半导体元件等的制造工序中的微细加工的多层抗蚀剂工序中有效的光刻用下层膜形成组合物、以及使用光刻用下层膜形成组合物的光致抗蚀剂图案形成方法。
技术介绍
作为制造酚醛清漆树脂等的反应，通常已知酸性催化剂的存在下的酚类与甲醛的反应。另一方面，还示出了使乙醛、丙醛、异丁醛、巴豆醛或苯甲醛等醛类反应而制造多酚类 (专利文献1)或酚醛清漆树脂(专利文献2)。另外，还示出了使具有酚和醛这两者的性能的羟基苯甲醛等反应而可以制造酚醛清漆型树脂(专利文献3)。这些多酚类或酚醛清漆树脂可作为半导体用的涂布剂、抗蚀剂用树脂使用，作为这些用途中的性能之一，要求具有耐热性。通常已知该耐热性通过提高树脂中的碳浓度、降低氧浓度而提高。作为上述提高碳浓度、降低氧浓度的方法，有导入芳香族烃成分的方法。 其中，具有下式所示的结构的聚合物(苊树脂)是公知的(专利文献4)。权利要求1. 一种芳香族烃树脂，其通过使式所示的芳香族烃和式所示的醛在酸性催化剂的存在下反应而得到，2.根据权利要求1所述的芳香族烃树脂，其中，式所示的芳香族烃为选自苯、甲苯、 二甲苯、三甲苯、萘、甲基萘、二甲基萘和蒽中的至少一种。3.根据权利要求1或2中...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：井出野隆次，北诚二，荻原雅司，东原豪，
申请(专利权)人：三菱瓦斯化学株式会社，
类型：发明
国别省市：
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