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一种激光冲击辅助微机电器件拆卸的方法技术

技术编号:7492442 阅读:212 留言:0更新日期:2012-07-10 06:04
本发明专利技术涉及一种微机电器件的拆卸方法,特指一种利用激光冲击产生的等离子体的膨胀及冲击波的力学效应来实现已配合微机电器件间的分离,适用于微机电器件的拆卸和分离。本发明专利技术利用激光冲击波的力学效应,通过冲击波产生的非接触力实现对微机电系统内部的微机电器件的拆卸,避免了常规操作对部件的接触划伤及损坏以及微纳尺度下难拆卸问题,充分利用激光冲击波的冲击压力在激光辐射方向弹射出微机电器件,是一种全新的微机电器件拆卸方法。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:鲁金忠钟金杉罗开玉张磊王庆伟戴峰泽齐晗罗密
申请(专利权)人:江苏大学
类型:发明
国别省市:

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