平面镜反射面平整度的检测装置及其使用方法制造方法及图纸

技术编号:7472364 阅读:437 留言:0更新日期:2012-07-02 14:24
本发明专利技术涉及一种平面镜反射面平整度的检测装置,属于光学技术领域;装置包括激光器、扩束镜、针孔、准值透镜、分束镜、待测平面镜、屏幕;从左到右依次按直线放置,顺序为激光器、扩束镜、针孔、准值透镜和分光镜,激光器和扩束镜两者共轴,扩束镜到针孔的距离为扩束镜的焦距,针孔到准值透镜的距离为准值透镜的焦距;本发明专利技术可以通过简单的装置测出反射镜反射面的粗糙程度,同时测量精度高,使用方便,结构简单。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光学检测装置,特别是一种,属于光学

技术介绍
平面镜在日常生活中就有广泛的使用,目前,在检测各种平面反射镜时,采用的方法是在被检测的平面上放一个透明样板,在透明样板的一端垫一个薄片使样板的标准平面和被测平面之间形成一个楔形空气薄层;利用单色光从上面照射,空气层的上下两个表面反射的两列光波发生干涉,根据干涉条纹判断平面反射镜反射面质量。这种方法测量精度受到透明样板的制作精度制约,同时透明样板的反复使用,也可能导致本身的测量精度下降,导致测量误差的叠加。在实际生产中还有一种测量方法为线扫描的方式,利用灵敏的探头扫描平面反射镜反射面,根据平面反射镜反射面的高低可以获得镜面的平整度,但由于测量时间的关系,此方法一般只测量一条直线,只能测量对称的镜面,在镜子加工过程中如果出现非对称的凹凸,有可能仍被认为是合格产品,误差极大。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种,可以测出平面反射镜反射面的光滑程度,精确的判断平面镜质量的好坏。本专利技术的采用的技术方案平面镜反射面平整度的检测装置包括激光器1、扩束镜2、针孔3、准值透镜4、分束镜5、待测平面镜6、屏幕7 ;从左到右本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:蒋鑫巍张永安
申请(专利权)人:昆明理工大学
类型:发明
国别省市:

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