一种基于椭偏仪的薄膜温度测量方法技术

本发明专利技术属于温度测量技术领域，具体为一种基于椭偏仪的薄膜温度测量方法。本发明专利技术利用椭偏仪测量被测薄膜的折射率谱线与标准折射率谱线，将两者比较，采用最小二乘法得到最佳匹配曲线，从而根据标准谱线所对应的温度值得到被测薄膜的温度值。本发明专利技术可非直接、无损耗地测量固体薄膜实时或非实时温度。测量过程中对薄膜材料没损伤，当实验条件不发生明显变化时，该方法具有较高的置信度。当标准折射率谱的温度间隔取得较小时，该方法具有较高的精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于温度测量
，具体涉及一种利用椭偏仪测量薄膜温度的方法。技术背景精确测量薄膜的温度是研究薄膜材料的重要技术。例如在分子束外延、化学气相沉积、离子刻蚀、快速热处理和溅射等薄膜工艺过程中，衬底温度的测量对薄膜品质的控制尤为重要。传统的测温方式主要有热电偶传感器测量，热电阻传感器测量等。但二者最大的缺点是对薄膜的接触和破坏，而且不利于薄膜快速、平稳生长中的局部温度控制。]目前，光热技术、干涉温度测量技术和热反射率技术可以非接触地测量薄膜衬底温度和表征薄膜的光学和热物理性质。这些光学技术具有非接触和远距离传感的优势，且具有较高的空间和时间分辨率。]典型的高温测温计和红外体温计已经广泛的应用于生产生活中。 这两种测温计是利用被测物体在不同温度下所辐射出的能量不同而得到物体的固有温度。 但它们测量的是物体的实时温度，对于物体的非实时温度则显得无能为力。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种既能测量实时温度，又能测量非实时温度的薄膜温度测量方法。本专利技术利用光学技术的快速、非接触和非破坏性的特点，考虑到薄膜的折射率谱与其温度有密不可分的关系(温度会影响薄膜的致密程度等)本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张荣君，郑玉祥，陈良尧，张帆，林崴，耿阳，卢红亮，
申请(专利权)人：复旦大学，
类型：发明
国别省市：