一种α-Al2O3单晶的清洗方法，涉及α-Al2O3单晶的清洗方法。解决因α-Al2O3单晶表面吸附性强、表面性质稳定，不易溶解，导致现有α-Al2O3单晶的清洗方法难以将表面污染物清洗干净的问题。对α-Al2O3单晶依次采用乙醇和表面活性剂浸泡预处理后，然后依次在浓硫酸和双氧水混合液，氨水、双氧水和水混合液，以及浓盐酸、双氧水和水混合液中热浸泡处理即可。本发明专利技术的α-Al2O3单晶的清洗方法是一种多步骤的湿化学清洁方法，能有效地将α-Al2O3单晶表面污染物清洗干净，且清洗得的氧化铝单晶洁净度高，清洗方法重复性好。清洗采用的设备简单，操作方便，易于掌握，过程安全、无污染。
【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张丹，甘阳，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：
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