阵列基板及其制造方法和有源显示器技术

本发明专利技术公开了一种阵列基板及其制造方法和有源显示器，该方法包括：在第一衬底基板上依次形成栅金属薄膜、栅绝缘层和有源层薄膜；在有源层薄膜上涂覆光刻胶，曝光显影；刻蚀掉光刻胶完全去除区域对应的栅金属薄膜、栅绝缘层和有源层薄膜，形成包括栅线和栅电极的图案；刻蚀掉光刻胶部分保留区域对应的栅绝缘层和有源层薄膜，形成包括栅线和公共电极线的图案；在形成上述图案的第一衬底基板上形成第一绝缘层薄膜；将光刻胶完全保留区域的光刻胶及其上的第一绝缘层薄膜剥离；接着形成源电极、漏电极、数据线、像素电极、有源层沟道及钝化层。本发明专利技术简化阵列基板的制备流程，降低制造成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及有源显示技术，尤其涉及一种阵列基板及其制造方法和有源显示器。
技术介绍
电子纸显示器是一种兼具显示器和纸两者优点的显示装置，其显示效果与纸张接近，具有柔性显示、携带轻便、可擦写、功耗低等优点。有源电子纸显示器主要由上基板、电子墨水层(显示介质)和下基板构成，多为反射型显示器，不需要背光源，通过反射环境光源显示图像，在电子墨水层中包含白色颜料粒子和黑色粒子，利用反射能力佳的白色颜料粒子来显示亮态，吸收能力佳的黑色粒子来显示暗态。通常，公共电极形成在上基板上，为电子纸器件提供有源驱动的阵列基板为下基板，由于有源电子纸显示器不需要背光源，阵列基板可以采用反射型设计。现有阵列基板的典型结构包括衬底基板；衬底基板上形成有横纵交叉的数据线和栅线；数据线和栅线围设形成矩阵形式排列的像素单元；每个像素单元包括薄膜晶体管(Thin Film Transistor，简称TFT)开关和像素电极；其中，TFT开关包括栅电极、源电极、漏电极和有源层；栅电极连接栅线，源电极连接数据线，漏电极连接像素电极，有源层形成在源电极和漏电极与栅电极之间。衬底基板上一般还形成有公共电极线，用于向公共电极输本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李文波，王刚，张卓，武延兵，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：