高压石英玻璃鼓泡安瓿及其组件制造技术

一种用于盛装高腐蚀性化学品的鼓泡安瓿和鼓泡组件，其结构使得它具有提高的强度，能安全地运输和使用高蒸汽压的化学品。这种增强的组件是通过控制安瓿底壁厚度与侧壁厚度的比率并在安瓿上提供适当倒圆的角部实现的。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于盛装和运输毒性的和腐蚀性液体化学品的鼓泡安瓿(bubbler ampoule)和组件；更具体地说，涉及一种用于盛装超高纯液体化学品的鼓泡安瓿，该液体化学品可能产生相对高的蒸汽压。许多制造工艺中都使用高纯度液体化学品，该液体化学品被夹带在载气中，用于如半导体生产中的水掺杂、蒸汽沉积、水表面蚀刻和清洗等。由于分配(dispensing)过程的特性，这些高纯度液体化学品通常装在称之为“鼓泡器”的高纯容器中运输，并从其中分配出来。鼓泡器组件通常由高纯石英玻璃、玻璃、硅、非反应性聚合物等合适的材料形成。舒马赫(Schumacher)的美国专利号US4140735；豪沃特(Howard)等人的美国专利US4851821；格拉夫(Graf)的US4886178都公开了典型的液体化学品鼓泡器组件和使用液体化学品组件的系统。液体化学品鼓泡器组件以如下方式用于半导体晶片或其它部件的生产中。液体化学品放置在如鼓泡组件的密封容器中，鼓泡组件包括一个安瓿和进、出口阀。安瓿具有一与中空浸入管部分连接的进口颈，该浸入管部分延伸到安瓿中化学品液面之下，它允许载气进入安瓿。安瓿还包括一出口本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于盛装高纯度高蒸汽压液体化学品的玻璃鼓泡安瓿，所述安瓿具有一限定所述安瓿宽度的侧壁，一顶壁和一底壁，所述顶壁和所述底壁分别通过倒圆角的上及下角部与所述侧壁相连，所述上及下角部的曲率半径约为所述安瓿宽度的３０％。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：ME道布斯，小JH穆尔菲，
申请(专利权)人：阿奇特殊化学品公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]