IC装备配方编辑器的配置方法组成比例

本发明专利技术涉及一种IC装备配方编辑器的配置方法，包括以下步骤：启动配方编辑器中的配置窗体；在配置窗体中对IC装备配方中的配置信息进行配置，并保存为配置文件；重新启动配方编辑器，自动读取上述配置文件中的信息；配方编辑器根据所读取的配置文件信息以及对配方编辑器的结构进行重新设置，生成配方编辑器的配方编辑界面。本发明专利技术方法使用户可以在不用修改代码的情况下对配方编辑器进行有效的配置，可以实现对配方编辑器的表格的结构进行配置，如实现参数的父子关系，以及单元格的灵活拆分，还可以针对不同的配方类型，将配方编辑器关联到不同的配置文件，实现配方编辑器的多重配置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种编辑器配置技术，具体的说是一种IC装备配方编辑器的配置方法。
技术介绍
ICGntegratedcircuit，集成电路)产业是一个高度专业化的产业，一般的IC装备的生产流程都非常复杂，其配方相对于其他行业来说也更加复杂。在设计配方编辑器时， 往往需要根据不同的适用环境来改变配方的内容和结构，因此配方编辑器设计的灵活性问题成为了 IC软件开发者的一个难题。常规的配方编辑器是一种固定形式的编辑器，其灵活性受到了很大的限制。有些配方编辑器可以通过IC软件中的配置文件来配置其内容，但灵活性不强，不能对配方编辑器的具体结构，如表格结构进行配置。如果需要对配方结构进行较大的改动，则需要去修改 IC软件中配方编辑器的程序代码，很是繁琐。这样不仅增加了客户修改配方结构的复杂性， 有时还需要设计人员对程序进行修改，增加了开发成本。同时，由于每一次开发都要重新设计配方编辑器的结构，增加了二次开发的复杂性。
技术实现思路
针对现有技术中存在的IC装备的配方编辑器的复杂程度较高，灵活性不强等不足之处，本专利技术要解决的技术问题是提供一种可以灵活的对配方编辑器进行配置，节省配置时间，提高生产和维护的效率的IC装备配方编辑器的配置方法。为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是本专利技术一种IC装备配方编辑器的配置方法包括以下步骤启动配方编辑器中的配置窗体；在配置窗体中对IC装备配方中的配置信息进行配置，并保存为配置文件；重新启动配方编辑器，自动读取上述配置文件中的信息；配方编辑器根据所读取的配置文件信息以及对配方编辑器的结构进行重新设置， 生成配方编辑器的配方编辑界面。所述配置信息包括数据类型、文件信息、参数信息、嵌套关系信息以及配方编辑器结构信息。配方编辑器读取配置文件信息以及对配方编辑器的结构进行重新设置包括以下步骤将配置文件信息写入内存；判断配置信息是否有效，如果有效，则根据内存中的配置信息重新分配配方编辑器的结构；如果无效，则停止分配配方编辑器结构。还包括读取IC装备软件中配方文件及填充配方编辑器数据步骤，具体为3读取IC装备软件中的配方文件并将配方文件中的信息写入内存；比较内存中的配方文件信息与配方编辑器结构是否匹配，如果匹配，则使用配方编辑器对配方文件进行编辑；如果不匹配，则退出配方编辑器。所述判断配置信息是否有效包括以下步骤读取配置文件，获得配置文件总节点下的各子节点；判断配置文件中各子节点对应各类信息是否存在，如果存在，则遍历其子节点，将各类信息写入内存，否则停止读取并发送错误报告。所述配置文件以XML格式保存；配置文件的内部结构包含若干节点，按照自定义的一系列规则来设定配置文件中的各节点的名称和属性，进而实现对配置文件信息的设置。配方编辑器的结构为表格形式，利用配置文件的信息对表格结构进行配置。在配置窗体中对IC装备配方中的配置信息进行配置为在配置窗体中分别编辑配置信息中的各类信息，得到编辑后的各类配置信息并存储到内存中。1.使用方便。本专利技术配置文件以定义好的格式作为节点的标识，用不同层次的节点来描述对不同的配方信息的配置，可以通过配置文件自定义数据类型，使用户可以在不用修改代码的情况下对配方编辑器进行有效的配置。2.功能强大。配置功能虽然在很多领域得到了运用，但是常规的配置只是简单的对一些参数进行配置，无法对编辑器的结构进行配置。本专利技术可以实现对配方编辑器的表格的结构进行配置，如实现参数的父子关系，以及单元格的灵活拆分等。3.扩展性强。可以对一个配置文件进行修改，成为一个新的配置文件。还可以针对不同的配方类型，将配方编辑器关联到不同的配置文件，实现配方编辑器的多重配置。附图说明图1为本专利技术方法中重新启动配方编辑器及自动读取上述配置文件信息流程图；图2为本专利技术方法中判断配置信息是否有效流程图；图3为本专利技术方法中配置窗体程序流程图；图4为参数名为列表头时的参数父子关系示意图；图5为本专利技术实施例中对配置文件定义示意图；图6为应用本专利技术方法得到的配方编辑器的编辑界面。具体实施例方式为解决配方编辑器的灵活性不强的问题，本专利技术提供一种对配方编辑器进行配置的方法，即IC装备配方编辑器的配置方法，可以实现对配方编辑器的灵活配置。本专利技术方法所采用的主要步骤如下启动配方编辑器中的配置窗体；在配置窗体中对IC装备配方中的配置信息进行配置，并保存为配置文件；重新启动配方编辑器，自动读取上述配置文件中的信息；配方编辑器根据所读取的配置文件信息以及对配方编辑器的结构进行重新设置，生成配方编辑器的配方编辑界面。其中配置信息包括数据类型、文件信息、参数信息、嵌套关系信息以及配方编辑器结构信息。如图1所示，重新启动配方编辑器及自动读取上述配置文件信息过程如下将配置文件信息写入内存；判断配置信息是否有效，如果有效，则根据内存中的配置信息重新分配配方编辑器的结构；如果无效，则停止分配配方编辑器结构并弹出提示。如图2所示，上述判断配置信息是否有效为读取配置文件，获得配置文件总节点Recipe下的各子节点；判断配置文件中各子节点对应各类信息是否存在，如果存在，则遍历其子节点，将各类信息写入内存，否则停止读取并发送错误报告。重新启动配方编辑器及自动读取上述配置文件信息还包括读取IC装备软件中配方文件及填充配方编辑器数据步骤，即读取IC装备软件中的配方文件并将配方文件中的信息写入内存；比较内存中的配方文件信息与配方编辑器结构是否匹配，如果匹配，则使用配方编辑器对配方文件进行编辑；否则报告错误信息并退出配方编辑器。所述配置文件以XML格式保存，XML(extensible Markup Language)即可扩展标记语言，它与HTML —样，都是处于SGML，标准通用语言。Xml是hternet环境中跨平台的， 依赖于内容的技术，是当前处理结构化文档信息的有力工具。扩展标记语言XML是一种简单的数据存储语言，使用一系列简单的标记描述数据，而这些标记可以用方便的方式建立， 虽然XML占用的空间比二进制数据要占用更多的空间，但XML极其简单易于掌握和使用。配方编辑器的结构为表格形式，利用配置文件的信息对表格结构进行配置。如图3所示，在配置窗体中对IC装备配方中的配置信息进行配置，并保存为配置文件，过程如下将配置文件中的配置信息载入内存中；判断上述配置信息是否有效，如有效，则将配置信息中的数据填充到配置窗体中；用户编辑配置窗体，并将配置信息保存到配置文件中，完成一次配置窗体的配置过程。如果不进行将配置信息保存到配置文件中的操作，则退出配置过程；如果配置信息无效，则弹出错误提示。配置文件对配方编辑器结构的配置如下设置配方各参数的父子关系，即一个总参数下包含若干个子参数，在配方编辑器表格中按照嵌套的形式表现出来，如图4所示。配置文件以XML形式存储，以下为该XML文件内部数据的示例〈Recipe〉〈DocumentInfo><PARAM name = " Frozen" value = " 0〃 type = " BOOL" viewtype = “ “ /><PARAM name = " Name" value = “ “ type = " STRI NG" viewtype = “ “ /><PARAM 本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：康凯，王宏，张彦武，林跃，姜军，张萌，周建辉，唐达鼎，张锐，
申请(专利权)人：沈阳中科博微自动化技术有限公司，
类型：发明
国别省市：