用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于核燃料辐照后检测技术领域，具体涉及一种用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置。该装置包括控制模块和工作模块，其中工作模块位于热室内，控制模块位于热室前区；工作模块的下部为底座，底座上安装有真空室，在底座上且真空室内安装有样品台，在真空室的上端设置有顶盖，在顶盖的下部安装有金靶，在顶盖的上部设置有把手，在顶盖的中心安装有电极，真空泵通过底座与真空室连接；控制模块与电极连接，控制模块与底座连接。该装置具有结构简单合理、尺寸较小、操作方便、安全可靠、能抗辐射等优点，实现了通过热室外机械手和热室前区控制模块控制相结合的操作方式。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于核燃料辐照后检测
，具体涉及一种用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置。
技术介绍
核燃料和材料辐照后样品具有很强的放射性，在较高Y射线强度下核燃料和材料扫描电镜样品的制备必须在热室内通过操作机械手来完成。由于核燃料和材料辐照后样品具有很强的放射性，一般用于扫描电镜观察的辐照后核燃料和材料样品的尺寸都较小，样品需经过镶嵌、磨/抛等制备工序，这时的样品还需做进一步的表面镀膜处理，以实现样品表面在扫描电镜观察时具有导电性。现有的用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置一般采用小型离子溅射仪，但其具有如下缺陷(1)其控制模块与工作模块集成一体，均位于热室内，无法对工作模块进行控制；(2) 其顶盖上没有把手，无法通过机械手进行操作。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置，以克服现有技术存在的上述不足。为达到上述目的，本技术所采取的技术方案为一种用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置，该装置包括控制模块和工作模块，其中工作模块位于热室内，控制模块位于热室前区；工作模块包括底座、真空室、顶盖、把手、电极、样品台、金靶和真空泵，工作模块的下部为底座，底座上安装有真空室，在底座上且真空室内安装有样品台，在真空室的上端设置有顶盖，在顶盖的下部安装有金靶，在顶盖的上部设置有把手，在顶盖的中心安装有电极，真空泵通过底座与真空室连接；控制模块与电极连接，控制模块与底座连接。所述的控制模块通过电缆与电极连接。所述的控制模块通过气管与底座连接。所述的底座到真空室上端顶盖的高度与热室窥视窗窗口视线的范围相适应。本技术所取得的有益效果为该装置在满足使用功能的同时，具有结构简单合理、尺寸较小、操作方便、安全可靠、能抗辐射等优点；实现了通过热室外机械手和热室前区控制模块控制相结合的操作方式(1)该装置的工作模块与控制模块分离，以防止放射性很强的辐照后核燃料和材料扫描电镜样品对操作人员造成不利影响，同时可以减少控制模块受很强放射性的影响， 能在热室前区通过控制模块控制金靶溅射镀膜时间、溅射电流及真空室的气压值，操作简单；(2)在真空室的顶盖上设置有不锈钢的把手，便于用机械手实现热室内顶盖的取放操作，减少机械手对顶盖不必要的操作对真空室密封性带来的影响；(3)该装置采用玻璃的真空室和不锈钢的顶盖设计，能抵抗很强的放射性，以实现辐照后核燃料和材料扫描电镜样品的制备；(4)底座到真空室上端顶盖的高度与热室窥视窗窗口视线的范围相适应，便于操作人员和机械手的操作。附图说明图1是本技术所述用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置结构图；图中1、底座；2、真空室；3顶盖；4、把手；5、电极；6、样品台；7、金靶；8、真空泵； 9、控制模块。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术进行详细说明。如图1所示，本技术所述用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置包括控制模块9和工作模块，其中工作模块位于热室内，控制模块9位于热室前区；工作模块包括不锈钢的底座1、圆柱体玻璃的真空室2、不锈钢的顶盖3、不锈钢的把手4、电极 5、样品台6、金靶7和真空泵8，工作模块的下部为底座1，底座1上安装有真空室2，在底座 1上且真空室2内安装有样品台6，在真空室2的上端设置有顶盖3，在顶盖3的下部安装有金靶7，在顶盖3的上部设置有把手4，在顶盖3的中心安装有电极5，真空泵8通过底座1 与真空室2连接；控制模块9通过电缆与电极5连接，控制模块9通过气管与底座1连接。将辐照后核燃料和材料扫描电镜样品运输至安装有本装置的热室内，检查控制模块9的情况，启动控制模块9，打开真空泵8，检验真空室2的密封性，一切准备工作完成后通过控制模块9对真空室2进行放气，操作人员通过机械手夹取真空室2的顶盖3上的把手4打开真空室2，将样品放入真空室2内底座1上的样品台6上，保证样品表面水平，然后通过机械手夹持把手4把顶盖3盖在真空室2的上端，确保顶盖3所放位置与真空室2的上端密封性良好，最后在热室外通过控制模块9，根据样品的尺寸大小，设定溅射参数，启动工作模块，对电极5加高压，使真空室2内产生辉光放电，使金靶7表面金属原子附着在样品表面，即完成样品表面的离子溅射镀膜，工作完成后，通过机械手取出样品，将样品通过专用运输容器运至扫描电镜实验室内进行进一步的扫描电镜观察。权利要求1.一种用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置，其特征在于该装置包括控制模块(9)和工作模块，其中工作模块位于热室内，控制模块(9)位于热室前区；工作模块包括底座(1)、真空室(2)、顶盖(3)、把手(4)、电极(5)、样品台(6)、金靶(7)和真空泵(8)，工作模块的下部为底座(1)，底座(1)上安装有真空室0)，在底座(1)上且真空室O)内安装有样品台(6)，在真空室O)的上端设置有顶盖(3)，在顶盖(3)的下部安装有金靶(7)，在顶盖(3)的上部设置有把手G)，在顶盖(3)的中心安装有电极(5)，真空泵 (8)通过底座(1)与真空室( 连接；控制模块(9)与电极( 连接，控制模块(9)与底座 (1)连接。2.根据权利要求1所述的用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置，其特征在于所述的控制模块(9)通过电缆与电极(5)连接。3.根据权利要求1所述的用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置，其特征在于所述的控制模块(9)通过气管与底座(1)连接。4.根据权利要求1所述的用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置，其特征在于所述的底座(1)到真空室(2)上端顶盖(3)的高度与热室窥视窗窗口视线的范围相适应。专利摘要本技术属于核燃料辐照后检测
，具体涉及一种用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置。该装置包括控制模块和工作模块，其中工作模块位于热室内，控制模块位于热室前区；工作模块的下部为底座，底座上安装有真空室，在底座上且真空室内安装有样品台，在真空室的上端设置有顶盖，在顶盖的下部安装有金靶，在顶盖的上部设置有把手，在顶盖的中心安装有电极，真空泵通过底座与真空室连接；控制模块与电极连接，控制模块与底座连接。该装置具有结构简单合理、尺寸较小、操作方便、安全可靠、能抗辐射等优点，实现了通过热室外机械手和热室前区控制模块控制相结合的操作方式。文档编号G01N1/28GK202221386SQ201120298770公开日2012年5月16日 申请日期2011年8月17日 优先权日2011年8月17日专利技术者冷茂林, 周云, 彭艳华, 朱伟, 温榜, 王斐 申请人:中国核动力研究设计院本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：彭艳华，温榜，王斐，冷茂林，周云，朱伟，
申请(专利权)人：中国核动力研究设计院，
类型：实用新型
国别省市：