【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的领域涉及机电系统和其照明装置。
技术介绍
机电系统包含具有电元件和机械元件、致动器、变换器、传感器、光学组件(例如, 镜子)和电子装置的装置。可以按包含但不限于微尺度和纳米尺度等各种尺度来制造机电系统。举例来说,微机电系统(MEMS)装置可包含具有范围为约一微米到数百微米或更大的大小的结构。纳米机电系统(NEMS)装置可包含具有小于一微米的大小的结构,包含例如小于数百纳米的大小。机电元件的产生可使用沉积、蚀刻、光刻和/或蚀刻掉衬底和/或沉积材料层的部分或者添加层以形成电装置和机电装置的其它微机械加工工艺。一种类型的机电系统装置被称作干涉调制器。如本文所使用,术语干涉调制器或干涉光调制器是指使用光干涉原理选择性地吸收和/或反射光的装置。在某些实施例中,干涉调制器可包括一对导电板,所述一对导电板中的一者或两者可整体或部分透明和/或反射性的且在施加适当电信号后能够相对移动。在特定实施例中,一个板可包括沉积在衬底上的固定层,且另一个板可包括与所述固定层隔开一个气隙的金属膜。如本文中更详细地描述,一个板相对于另一个板的位置可以改变入射于干涉调制器上的光的光干 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:约恩·比塔,鲁塞尔·韦恩·格鲁尔克,徐刚,科伦戈德·S·纳拉亚南,
申请(专利权)人:高通MEMS科技公司,
类型:发明
国别省市:
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