一种深紫外光学薄膜处理装置制造方法及图纸

技术编号：7319304 阅读：168 留言：0更新日期：2012-05-04 17:43

一种深紫外光学薄膜处理装置涉及深紫外光学技术应用领域，该装置包括：控制模块和处理腔。控制模块对处理腔的工作状态进行设定和控制，处理腔对深紫外光学薄膜进行处理；控制模块包括：变压器、电容、数字电路板、第一开关、第二开关和第三开关；处理腔包括：处理腔外壳、红外线灯、紫外光灯、样品台、低温热电偶探头和隔离挡板。该装置同时具有紫外灯清洗功能和红外线灯加热功能，可以快速高效去除深紫外光学薄膜内部与表面吸附的有机污染物和水汽成分，克服了以往单独或分别采用紫外光清洗技术和低温退火技术时存在的二次污染和低效率的问题。