本发明专利技术涉及一种高频交流电加热技术应用于ZnO基底电化学微加工方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：提供含有NaNO2的蚀溶液；步骤2：提供一高频交流电升温装置和一扫描化学显微镜，将所述高频交流电升温装置的加热微电极固定在该扫描化学显微镜上；步骤3：将合成ZnO的纳米线或薄膜作为微加工的基底置于所述蚀溶液中，利用扫描电化学显微镜的逼近装置，使所述加热微电极接近ZnO基底，然后调节加热微电极的温度，从而对ZnO基底进行微加工。本发明专利技术不仅能提高电化学微加工效率，而且可以调控加工的分辨率，方法简单，具有较好的实用价值。
【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：汤儆，杜琳，肖孝建，吴挺，
申请(专利权)人：福州大学，
类型：发明
国别省市：
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