一种复杂光学曲面研抛加工方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种复杂光学曲面的研抛加工方法及装置，所述的研抛加工方法是：研抛工具绕z轴作高速回转，可沿x轴和z轴移动；工件沿y轴移动，绕z轴转动，绕y轴摆动；研抛工具相对于工件沿着预先获得的非线性螺旋路径运动，并主动调整研抛工具与工件之间的相对姿态；所述的装置是由机床本体、由溜板构成的z轴、由溜板构成的x轴、由溜板构成的y轴、电主轴、精密气浮转台、精密摆动台、三个精密直线位移光栅和二个角位移光栅和一个多轴运动控制器组成；所述方法能主动调整研抛工具相对于工件的位姿，获得均匀的面形精度和加工表面质量；所述的研抛加工装置，可以实现研抛工具与工件之间相对位姿的主动调整；本发明专利技术能减少研抛加工时间、提高研抛加工效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于精密光学制造领域，特别是涉及一种复杂光学曲面的研抛加工方法及直O
技术介绍
复杂光学曲面涉及非球面和自由曲面等光学曲面，具有十分突出的优越性，在航天航空、国防、科学仪器和光电子等重要的工业领域有着日益增长的应用需求。为了加工创成复杂光学曲面，学术界和工业界提出了许多工艺方法，主要包括复制成形，磨削，研抛， 飞切，车削等。迄今为止，无论是车削、飞切、还是磨削，皆以研抛作为获得光学质量表面的最终加工工序。虽然研抛的种类较多，但是利用研抛工具的亚口径机械式研抛却是目前获得实质性应用的主要方法之一。利用研抛工具的亚口径机械式研抛复杂光学曲面，无论是在创成原理还是在加工装置上，都存在着难以逾越的固有缺陷，例如(1)对于有复杂几何特征的光学曲面，研抛去除量总是非均勻变化的，这使得研抛工具与被加工工件之间的变形不一致，难以获得均勻一致的面形精度；(2)对于有复杂几何特征的光学曲面，研抛工具去除工件材料所形成的加工表面残高也总是非均勻变化的，因而难以获得均勻一致的加工表面质量；(3)为了使所获得加工表面质量和面形精度满足加工要求，势必将增加研抛加工时间，降低研抛加工效率。
技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种复杂光学曲面的研抛加工方法，该方法是(1)研抛工具绕Z轴作高速回转，可沿X轴和Z轴移动；(2)工件沿y轴移动，绕ζ轴转动，绕y轴摆动；(3)研抛工具相对于工件沿着预先获得的非线性螺旋路径运动，并主动调整研抛工具与工件之间的相对姿态，以获得均勻的面形精度和加工表面质量。2.一种复杂光学曲面的研抛加工方法所用的装置，其特征在于是由机床本体、由溜板构成的ζ轴、由溜板构成的χ轴、由溜板构成的y轴、电主轴、精密气浮转台、精密摆动台、 三个精密直线位移光栅和二个角位移光栅和一个多轴运动控制器组成，研抛...

【专利技术属性】
技术研发人员：林洁琼，李迎春，卢明明，王磊，
申请(专利权)人：长春工业大学，
类型：发明
国别省市：