显影机及其加显影液的系统和方法技术方案

本发明专利技术提供一种显影机及其加显影液的系统和方法，属于显影技术领域，其可解决现有的加显影的工艺可靠性差的问题。本发明专利技术的显影机加显影液的系统包括：带有控制阀的输液管道；液位传感器；用于驱动该控制阀开闭的驱动机构；控制器，用于接收液位传感器的测量结果，并根据测量结果向驱动机构发出控制信号从而控制该控制阀的开闭。本发明专利技术的显影机包括显影液罐和上述的显影机加显影液的系统。本发明专利技术的显影机加显影液的方法包括：用液位传感器测量显影液罐中显影液的液位，并将测量结果发送给控制器；当液位为第一液位时，控制器控制驱动机构打开输液管道上的控制阀，通过输液管道向显影液罐输送显影液。本发明专利技术可用于半导体制造工艺中。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显影
，尤其涉及用于半导体工艺中的。
技术介绍
显影机是半导体工艺中的一种常用设备，用于将显影液喷在涂覆有光刻胶的基板上，以进行显影。显然，为保证显影机的连续生产，需对显影机的显影液罐中的显影液进行及时补充。如图1所示，在现有的显影机(例如SVG 90S涂胶显影机)的加显影液的系统中，带有控制11阀的输液管道1连接显影液供液系统3 (例如场务供液系统)和显影机的显影液罐2，显影液罐2中设有与报警装置5相连的液位传感器4，当显影液罐2中显影液的液位降到低液位21时，液位传感器4向报警装置5发出信号，报警装置5发出蜂鸣报警， 并显示TANK LOW，操作人员听到报警后手动打开控制阀11，通过输液管道1向显影液罐2 加显影液，待显影液罐2中的液位达到高液位22时，报警装置5停止报警，显示TANK HIGH, 操作人员再手动关闭控制阀11。专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题由于现有的显影机的加显影液操作要靠操作人员手动进行，受人为因素影响大，容易误操作，可靠性差。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种显影机加显影液的系统，其可靠性好。为达到上述目的，本专利技术的实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显影机加显影液的系统，包括带有控制阀的输液管道，连接在显影液供液系统和显影机的显影液罐间，用于从所述显影液供液系统向所述显影液罐输送显影液；液位传感器，用于测量所述显影液罐中显影液的液位；其特征在于，所述显影机加显影液的系统还包括驱动机构，用于驱动所述控制阀的开闭；控制器，用于接收所述液位传感器的测量结果，并根据所述测量结果向所述驱动机构发出控制信号从而控制所述控制阀的开闭。2.根据权利要求1所述的显影机加显影液的系统，其特征在于，所述控制器为可编程序控制器。3.根据权利要求1或2所述的显影机加显影液的系统，其特征在于，所述控制器用于在所述显影液的液位为第一液位时打开所述控制阀。4.根据权利要求3所述的显影机加显影液的系统，其特征在于，所述控制器还用于在所述显影液的液位为第二液位时关闭所述控制阀，其中所述第一液位低于所述第二液位。5.根据权利要求4所述的显影机加显影液的系统，其特征在于，所述控制器还用于在所述显影液的液位为第三液位时停止显影机的工作，其中所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵迎春，吴铸伟，陈振刚，
申请(专利权)人：北大方正集团有限公司，深圳方正微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：