【技术实现步骤摘要】
本专利技术是涉及一种，特别是涉及一种含氟化 合物气体的吸附置换反应。
技术介绍
近年来环保意识高涨，为了降低温室效应，在半导体工艺中使用的含氟 化合物必须经过处理才可排放至大气中， 一般所使用的含氟化合物例如为全 氟碳化合物(perfluorocarbons，简称PFCs)，其为包括CF4、 C2F4、 C2HF3、 C2F6、C3F6等含有多个氟原子的碳氢化合物的统称，具有极高的化学稳定性。现行的含氟化合物处理技术主要有高温直接分解法、高能离子分解法及 触媒分解法，其中以高温直接分解法及触媒分解法最为成熟，而触媒分解法 更具有操作温度低、分解效率高且安全性高的优点。触媒分解法主要有循环水解反应及吸附置换反应两种方式，水解反应必 须在含有水气的情况下进行反应，PFC经触媒反应后会转化成氢氟酸及二氧 化碳，故需加设一湿式洗涤器以去除氢氟酸；而吸附置换反应则是利用化学 吸附剂在高温(400 700。C)情况下，使化学吸附剂吸附PFC化合物后进行氧和 氟的置换反应将PFC去除，反应后产生一氧化碳或二氧化碳，不会产生酸性 气体。循环水解具有较高的处理量及寿命，但设备较为...
【技术保护点】
一种含氟化合物气体的处理方法，包括： 将一含有含氟化合物的气体接触一活性吸附剂，使该含氟化合物被该活性吸附剂吸附并与该活性吸附剂反应， 其中该活性吸附剂的组成包括： 沸石以及碱土金属化合物，且其中沸石和碱土金属化合物的重量 比为１∶２０至４∶６。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄建良，李秋煌，卢敏彦，张美元，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，成泰科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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