【技术实现步骤摘要】
本专利技术与振动感测装置有关，特别是关于一种可侦测待测物体的振动状态，且不受厂房设备空间或待测物体外形限制、可即贴即量的非接触式振动感测装置。
技术介绍
振动为机械工程的重要领域，而且是在机械运转中常见的现象，随着精密机械、故障检测、诊断监测、与微机电系统等领域在近年来的蓬勃发展，即时(real time)、准确及不占空间的振动信号量测技术逐渐受到重视。传统振动量测装置主要可分为接触式及非接触式两大类，接触式感测器必须直接接触待测物体以取得其振动状态资讯，如加速度感测器 (accelerometer)，但它不适用于精密机械或微机电系统，因为微结构轻量物体在加入加速度感测器前后的动态特性已有显著的差异(因总质量已经改变)；再者，接触式振动量测装置的接触点容易造成待测量物体表面磨损而影响后续精密工艺。相较于接触式量测技术可能带来的振动、破坏与不精确性等缺点，非接触式 (non-contact)量测技术由于毋须碰触待测物体，可大幅提升量测精准度，因此在近年来颇受重视，非接触式振动量测，自然而然地成为机械系统动态量测中扮演不可或缺的重要角色。至于传统非接触式感测器主要应...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
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