一种金刚石膜的超高速复合抛光盘制造技术

一种用于金刚石膜的超高速复合抛光盘，包括抛光盘、抛光盘座、动平衡调整块、联接轴、高速电主轴等。抛光盘通过螺栓固定在抛光盘座的圆槽中，抛光盘座通过联接轴与高速电主轴相连接，抛光盘座的环形槽内安装有动平衡调整块。本发明专利技术具有结构简单、重量轻、抛光盘更换方便，可以实现的抛光速度高、动平衡调整方便、成本低等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于金刚石膜的高速抛光技术，特别涉及金刚石膜高速及超高速精密抛光技术。
技术介绍
目前，金刚石膜热化学抛光时所使用的抛光盘多为单盘结构，抛光盘磨损后需要整体更换；而且在进行高速及超高速抛光时，需要进行严格的动平衡，动平衡调整麻烦。若使用铸铁等材料作为抛光盘，由于其质量大，高速旋转时的惯性力可能会使抛光盘破裂而发生危险。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决金刚石膜超高速抛光时动平衡调整、抛光盘更换及抛光盘破裂的技术问题，提供一种结构简单、转动惯量小、动平衡调整方便、抛光盘更换容易的一种金刚石膜超高速复合抛光盘。本专利技术包括材料可以更换的抛光盘、铝合金材料的抛光盘座、动平衡调整块、联接轴、高速电主轴。抛光盘安装在抛光盘座的圆槽中并通过螺栓连接，抛光盘座另一面的梯形截面的环形槽内安装有三个动平衡调整块，调好动平衡后用螺钉将调整块顶紧在抛光盘座的环形槽内，抛光盘座通过联接轴与高速电主轴相连接。所述抛光盘座的一面有用于安装动平衡调整块的环形槽，另一面有用于安装抛光盘的圆槽，中间部位是用于和联接轴连接的定位孔及螺栓孔。本专利技术具有结构简单、重量轻、转动惯量小，可以更换多种材料的抛光盘，动平衡调整简单方便等优点。附图说明图1是本专利技术的结构示意图。图2是抛光盘座的A向视图。图中1电主轴、2联接轴、3动平衡调整块、4调整螺钉、5抛光盘座、6抛光盘、7联接螺栓。具体实施例方式下面结合附图对本专利技术的结构原理和工作过程作进一步说明。一种金刚石膜的超高速复合抛光盘，如图1所示，它包括电主轴1、联接轴2、动平衡调整块3、调整螺钉4、抛光盘座5、抛光盘6、联接螺栓7。联接轴2通过螺纹与电主轴1 联接，抛光盘6放置在抛光盘座5上方的圆槽中、它们通过螺栓7与联接轴2的法兰联接，动平衡调整块3安装在抛光盘座5下面的环形槽中，通过调整三个动平衡调整块圆周方向的相对位置达到调整动平衡的目的，动平衡调整好后拧紧调整螺钉4将动平衡调整块固定。由电主轴1通过联接轴2带动抛光盘座及抛光盘一起旋转。权利要求1.一种金刚石膜的超高速复合抛光盘，其特征是，包括抛光盘、铝合金的抛光盘座、动平衡调整块、联接轴、高速电主轴，抛光盘安装在抛光盘座的圆槽中，动平衡调整块安装在抛光盘座的环形槽内，抛光盘座通过联接轴与高速电主轴相连接。2.根据权利要求1所述的一种金刚石膜的超高速复合抛光盘，其特征在于所述铝合金抛光盘座的一面有用于安装抛光盘的圆槽，另一面有用于安装动平衡调整块的环形槽。3.根据权利要求1所述的一种金刚石膜的超高速复合抛光盘，其特征在于所述抛光盘可以快速更换。全文摘要一种用于金刚石膜的超高速复合抛光盘，包括抛光盘、抛光盘座、动平衡调整块、联接轴、高速电主轴等。抛光盘通过螺栓固定在抛光盘座的圆槽中，抛光盘座通过联接轴与高速电主轴相连接，抛光盘座的环形槽内安装有动平衡调整块。本专利技术具有结构简单、重量轻、抛光盘更换方便，可以实现的抛光速度高、动平衡调整方便、成本低等优点。文档编号B24B41/04GK102380822SQ20101026902公开日2012年3月21日 申请日期2010年9月1日 优先权日2010年9月1日专利技术者周丽, 许立福, 黄树涛 申请人:沈阳理工大学本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：许立福，周丽，黄树涛，
申请(专利权)人：沈阳理工大学，
类型：发明
国别省市：