感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图的形成方法及印刷电路板的制造方法技术

本发明专利技术提供一种感光性树脂组合物，该组合物为含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物及(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物，所述(B)成分包含具有由下述通式(1)表示的有机基团的光聚合性化合物。式(1)中，R1和R2分别独立地表示氢原子或甲基，L1和L2分别独立地表示碳原子数1～6的亚烷基，m和n分别独立地表示以m和n的总和为0～50的方式选择的0～50的整数。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
以往在印刷电路板的制造领域中，如下的感光性元件被人们熟知，该感光性元件通过在支持膜上形成作为用于蚀刻或镀覆等的抗蚀剂材料的感光性树脂组合物或者包含该感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层，并用保护膜覆盖感光性树脂组合物层来获得。使用感光性元件的情况，印刷电路板例如可以如下进行制造。首先，在电路形成用基板上层压感光性元件的感光性树脂组合物层。此时，感光性树脂组合物层的与接触支持膜的面相反侧的面密合于电路形成用基板的应形成电路的面。因此，在剥离保护膜的同时进行。接着，通过膜状掩模等曝光成图像状(图案状)后，用显影液除去未曝光部，形成抗蚀图。接着，以该抗蚀图为掩模实施蚀刻或镀覆处理而形成电路图案，最终从基板上剥离除去固化部分。在这种印刷电路板的制造方法中，作为除去感光性元件的未曝光部的显影液，通常只要在一定程度上具有溶解或分散感光性树脂组合物层的能力就可以使用。从环境性和安全性的角度考虑，使用碳酸钠水溶液或碳酸氢钠水溶液等的碱显影液现在正成为主流。 使用的感光性树脂组合物要求优异的隆起可靠性，即在曝光后不会被显影液或水洗的喷射压力破坏的隆起性。作为该隆起可靠性优异的感光性树脂组合物提出了包含双官能或三官能单体的感光性树脂组合物(参照例如专利文献1 5)。专利文献1 国际公开第01/0拟958号小册子专利文献2 特开2000-214583号公报专利文献3 特许第3251446号公报专利文献4 特开2005-31639号公报专利文献5 特许第3199600号公报
技术实现思路
然而，对于包含双官能单体的感光性树脂组合物，隆起可靠性不一定充分；并且， 对于包含三官能单体的感光性树脂组合物，得到的固化膜往往硬而脆。本专利技术鉴于上述情况而完成，其目的在于提供可以形成具有充分的机械强度和柔3软性的固化膜、隆起可靠性足够优异的感光性树脂组合物以及使用该组合物的感光性元件、抗蚀图的形成方法及印刷电路板的制造方法。本专利技术提供一种感光性树脂组合物，该组合物为含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物及(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物，(B)成分包含具有由下述通式(1)表示的有机基团的光聚合性化合物。权利要求1. 一种感光性树脂组合物，该组合物为含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物及(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物，所述(B)成分包含具有由下述通式(1)表示的有机基团的光聚合性化合物； R1 OR2 O2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，具有由所述通式(1)表示的有机基团的光聚合性化合物为由下述通式( 表示的光聚合性化合物；3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，其中，所述Z为由下述通式C3)或(4)表示的2价有机基团；4.一种感光性元件，具有支持膜以及形成在该支持膜上的包含权利要求1 3中任意一项所述的感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层。5.一种抗蚀图的形成方法，在电路形成用基板上层叠权利要求4所述的感光性元件的感光性树脂组合物层，对该感光性树脂组合物层以图像状照射活性光线而使曝光部发生光固化，然后除去曝光部以外的部分。6.一种印刷电路板的制造方法，包括如下工序对于通过权利要求5所述的抗蚀图的形成方法形成了抗蚀图的电路形成用基板进行蚀刻或镀覆而形成电路图案。全文摘要本专利技术提供一种感光性树脂组合物，该组合物为含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物及(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物，所述(B)成分包含具有由下述通式(1)表示的有机基团的光聚合性化合物。式(1)中，R1和R2分别独立地表示氢原子或甲基，L1和L2分别独立地表示碳原子数1～6的亚烷基，m和n分别独立地表示以m和n的总和为0～50的方式选择的0～50的整数。文档编号G03F7/09GK102393604SQ201110349459公开日2012年3月28日 申请日期2007年9月10日 优先权日2006年9月13日专利技术者味冈芳树, 小柳浩二, 渡边满明 申请人:日立化成工业株式会社本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：味冈芳树，小柳浩二，渡边满明，
申请(专利权)人：日立化成工业株式会社，
类型：发明
国别省市：