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一种单晶硅炉用炭/炭复合材料发热体制造技术

技术编号:7229116 阅读:186 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种单晶硅炉用炭/炭复合材料发热体。该发热体选用短切纤维制备的纤维毡作为增强材料,然后以这种预制体为增强材料通过一定的工艺步骤制备:1、采用短切纤维;2、制备预制体;3、预氧化和炭化处理;4、沉积处理;5、浸渍处理;6、机加工和高温处理。这种发热体由于采用了短切纤维毡增强炭/炭复合材料并通过一定的工艺制备,具有很高的抗折强度和电阻稳定性,因此极大地延长了发热体的使用寿命,从而明显降低了单晶硅炉的使用成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及冶炼装备,具体是一种单晶硅炉用炭/炭复合材料发热体
技术介绍
在拉制单晶硅的生产过程中为了熔化原料多晶硅必须使用发热体,其炉温在 1650°C左右。为了保证单晶硅的结晶方向必须让各处的炉温比较均勻,这就要求发热体的性能必须是各向同性的。目前单晶硅炉普遍采用各向同性石墨即等静压石墨作为发热体。 但是由于等静压石墨发热体比较脆、且强度低,因此它的使用寿命很短。另外,由于等静压石墨的电阻率比较低,因此为了达到要求的电阻值必须把鼠笼型石墨发热体加工得较窄, 这也就会进一步导致发热体易碎。
技术实现思路
本专利技术提供一种单晶硅炉用炭/炭复合材料发热体,要解决现有的等静压石墨发热体使用寿命短的问题。本专利技术的这种单晶硅炉用炭/炭复合材料发热体选用短切纤维制备的纤维毡作为炭/炭复合材料发热体中的增强材料,然后以这种预制体为增强材料通过下述步骤制备1、采用短切纤维选用短切聚丙烯腈纤维、短切碳纤维或者短切石墨纤维制备的腈纶毡、炭毡或者石墨毡作为炭/炭复合材料发热体中的增强材料,短切纤维的长度不超过180毫米;2、制备预制体利用步骤1得到的原料通过针刺工艺制备出筒形毡基预制体;3、预本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王钊孙南岳
申请(专利权)人:王钊孙南岳
类型:发明
国别省市:

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