【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及冶炼装备,具体是一种单晶硅炉用炭/炭复合材料发热体。
技术介绍
在拉制单晶硅的生产过程中为了熔化原料多晶硅必须使用发热体,其炉温在 1650°C左右。为了保证单晶硅的结晶方向必须让各处的炉温比较均勻,这就要求发热体的性能必须是各向同性的。目前单晶硅炉普遍采用各向同性石墨即等静压石墨作为发热体。 但是由于等静压石墨发热体比较脆、且强度低,因此它的使用寿命很短。另外,由于等静压石墨的电阻率比较低,因此为了达到要求的电阻值必须把鼠笼型石墨发热体加工得较窄, 这也就会进一步导致发热体易碎。
技术实现思路
本专利技术提供一种单晶硅炉用炭/炭复合材料发热体,要解决现有的等静压石墨发热体使用寿命短的问题。本专利技术的这种单晶硅炉用炭/炭复合材料发热体选用短切纤维制备的纤维毡作为炭/炭复合材料发热体中的增强材料,然后以这种预制体为增强材料通过下述步骤制备1、采用短切纤维选用短切聚丙烯腈纤维、短切碳纤维或者短切石墨纤维制备的腈纶毡、炭毡或者石墨毡作为炭/炭复合材料发热体中的增强材料,短切纤维的长度不超过180毫米;2、制备预制体利用步骤1得到的原料通过针刺工艺制备出筒 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
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