【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种具有两支撑梁四层结构的电阻式气体传感器，其特征在于所述的电阻式气体传感器是一个自下而上分为四层具有不同功能结构，其中最下层第一层是硅衬底框架，其中包含一个隔热腔体；第二层是位于隔热腔体上方的加热膜区和支撑悬梁，由氧化硅和氮化硅的多层复合膜组成；第三层是加热电阻丝、供电引线、叉指电极和探测引线，加热电阻丝以折线形式排布在加热膜区上，叉指电极排布在加热电阻丝的间隙中并与最上面第四层用于气体探测的敏感膜连接，敏感膜位于加热膜区上，覆盖整个加热电阻丝和叉指电极，并和叉指电极有良好的电连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：许磊，李铁，王跃林，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：31
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