【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
1.一种分子螺旋真空泵级,包括:转子盘(7),其具有光滑表面并与定子体(1;11;21)合作;所述定子体(1;11;21),其至少在面对所述转子盘的表面上具有至少一个螺旋通道;具有横截面积(σ)的所述至少一个螺旋通道,其包括:入口(6),其处于所述定子体的外周或该外周附近,用于所要泵送的气体,以及出口(8),其处于所述定子体的中心或该中心附近,用于所述气体,使得所述气体沿向心方向流动通过所述至少一个通道;其中,所述至少一个通道的所述横截面积(σ)从所述定子体(1;11;21)的中心向着外周减小。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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