【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施例主要涉及处理设备，并且更特别地涉及用于处理流出物的减排系统(abatement system)0
技术介绍
减排系统至少部分地用于在将排放流出物流释放到环境中之前从该流移除颗粒和/或有害流出物气体。举例而言，在减排系统中，排放流出物流可以被燃烧并且之后被清洗以移除微粒和/或水溶性流出物。在一些减排系统中，流出物流通过洗涤器，该洗涤器可用来从该流移除微粒和/或有害流出物。然而，专利技术人已发现在一些应用中，利用洗涤器来处理流出物可能会无法充分地减少来自该排放流出物流的有害气体(诸如氟化氢(HF)、硅烷(SiH4)、四氟化硅(SiF4)等) 和/或微粒物质。因此，专利技术人已经提供一种改善的减排系统，其可有利地进一步改善来自流出物流的有害气体与微粒物质的减少。
技术实现思路
本专利技术提供了一种改善流出物处理的设备。在一些实施例中，减排系统可以包括 排放导管，其使流出物流从其中流动通过；多个填充床，其设置在排放导管中，以从流出物流移除非可排放的流出物；一个或多个喷嘴，其设置为在相邻的填充床之间提供流出物处理剂，流出物处理剂从流出物流移除非可排放的流出物...
【技术保护点】
１．一种减排系统，包括：排放导管，其使流出物流从其中流动通过；多个填充床，其设置在所述排放导管中，以从所述流出物流移除非可排放的流出物；一个或多个喷嘴，其设置为在相邻的填充床之间提供流出物处理剂，所述流出物处理剂从所述流出物流移除非可排放的流出物；以及滴注器，其设置在所述排放导管中而位于最上方填充床上方，来以大液滴提供所述流出物处理剂，以在基本上不会形成微细液滴的状态下润湿并冲洗所述最上方填充床的上表面的微粒。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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