硬质多层膜成型体及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种硬质多层膜成型体及其制造方法，其中，上述硬质多层膜成型体具备与基材的密合性优异的中间层和耐磨损性优异的表面层即ＤＬＣ膜，并且ＤＬＣ膜和中间层之间不产生剥离，耐磨损性也优异。上述硬质多层膜成型体为在由超硬合金材料或铁系材料构成的基材的表面形成多层的膜而成的硬质多层膜成型体（１），上述多层的膜包含（１）作为该多层的表面层（５）形成的以ＤＬＣ为主体的膜、（２）在该表面层（５）和上述基材（２）之间形成的以金属系材料为主体的中间层（３）、（３）在该中间层（３）和上述表面层（５）之间形成的以碳为主体的应力缓和层（４）。该应力缓和层（４）为硬度从中间层（３）侧向表面层５侧连续或分级上升的ＤＬＣ倾斜层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及，其中，上述硬质多层膜成型体在汽车零件、各种成型模具等的铁系基材及超硬材基材的机械零件中，以对该基材显示良好的密合性，同时具有优异的耐磨损性的类金刚石碳膜作为表面层。
技术介绍
硬质碳膜为一般被称为类金刚石碳(以下，记为DLC。另外，将以DLC为主体的膜 /层也称为DLC膜/层。)的硬质膜。硬质碳另外还有硬质非晶碳、无定形碳、硬质无定形型碳、i-碳、金刚石状碳等各种呼称，但这些术语没有被明确区别。使用这样的术语的DLC的本质，结构上具有混合了金刚石和石墨的两者的中间结构。与金刚石同样，硬度高、耐磨损性、固体润滑性、导热性、化学稳定性等优异。因此，例如， 正在作为模具 工具类、耐磨损性机械零件、研磨材料、滑动部件、磁·光学零件等的保护膜而被利用。作为形成这样的DLC膜的方法，可以采用溅射法、离子镀敷法等的物理蒸镀(以下，记为PVD)法、及化学蒸镀(以下，记为CVD)法等。例如已知用电弧离子镀敷的过滤电弧法(7 O夕一 K 7 —夕法)得到的DLC膜(参照专利文献1)。通常，DLC膜在膜形成时产生极大的内部应力，另外具有高硬度及杨氏模量，但另一方面变形能极小，因此具有与基本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种硬质多层膜成型体，其是在基材的表面形成多层的膜而成的硬质多层膜成型体，其特征在于，所述多层的膜包含：（１）作为该多层的表面层而形成的、以类金刚石碳为主体的膜；（２）在该表面层和所述基材之间形成的、以金属系材料为主体的中间层；（３）在该中间层和所述表面层之间形成的以碳为主体的应力缓和层，所述应力缓和层为其硬度从所述中间层侧向所述表面层侧连续或分级上升的倾斜层。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：大平晃也，
申请(专利权)人：NTN株式会社，
类型：发明
国别省市：JP