压电ＭＥＭＳ麦克风制造技术

包括多层传感器的压电ＭＥＭＳ麦克风，该传感器包括位于两个电极层之间的至少一个压电层，该传感器被尺寸定制为使得其提供了接近最大化的输出能量对传感器面积之比率，最大化的输出能量对传感器面积之比率通过计入了输入压力、带宽、及压电和电极材料特征的最优化参数来确定。该传感器可由单独的或以小间隙彼此分隔开的堆叠悬臂梁组成，或者可以是以下方式形成的应力消除隔板：通过沉积到硅衬底上，然后通过将隔板基本与衬底分离来对隔板进行应力消除，并接下来重新附着现在的经应力消除的隔板。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
１．　一种压电ＭＥＭＳ麦克风，包括：衬底；以及多层声传感器，其包括至少三层，所述至少三层包含第一电极层、沉积在所述第一电极层之上的压电材料中间层、以及沉积在所述压电材料之上的第二电极层；其中，所述传感器被尺寸定制为使得所述多层传感器的输出能量对传感器面积之比率是对于给定输入压力、带宽、及压电材料而言可获得的最大比率的至少１０％。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：K·格罗什，
申请(专利权)人：密执安大学评议会，
类型：发明
国别省市：US